迄今，在各種流量計中，蒸汽流量計仍然占據(jù)著相當大得比例，例如電磁流量計、流體振動流量計、超聲波流量計等等，但是在工業(yè)生產(chǎn)中，各種原料的配比或品質(zhì)的控制，物料運送，能量平衡，貿(mào)易交接等等，往往要知道質(zhì)量流量。對于氣體和蒸汽流量計測量，因工藝條件經(jīng)常變動，流體的工作狀態(tài)變化，會引起其密度的變化，測量體積流量就會出現(xiàn)很大的誤差。以常溫常壓氣體為例，當氣體溫度變化1°c，會引起密度變化0.3%，壓力變化1kpa，會引起密度變化1%。因此，簡單的測量體積流量幾乎沒有什么意義。為此必須采用溫度、壓力補償?shù)姆椒?，把工作狀態(tài)的體積流量換算為標準狀態(tài)的體積流量，就可以減小測量誤差。對一些組分的混合氣體，特別是組分變化較大的氣體，即使采用壓力、溫度補償，也不能準確測量，因為組分變化所引起介質(zhì)密度的變化產(chǎn)生的測量誤差是不能用溫度、壓力補償?shù)姆椒▉硐?。還有，對工作壓力較高的氣體，由于壓縮系數(shù)隨壓力盒溫度變化，測量體積流量時還必須考慮壓縮系數(shù)z的影響?；谝陨显颍瑴y量質(zhì)量流量就顯得尤為重要，國外從20世紀50年代就出現(xiàn)了用于石油、天然氣計量的質(zhì)量式流量計，在60年代出現(xiàn)熱式質(zhì)量流量計，70年代后期出現(xiàn)科式力質(zhì)量流量計。近年來，
蒸汽流量計和科式力質(zhì)量流量計都取得了較快的發(fā)展。但是這些儀器儀表也都存在一定的局限性，科式力質(zhì)量流量計雖然精度高，但它主要用于液體和高壓狀態(tài)下氣體流量測量，對于常壓或壓力較低的氣體并不適用。熱式質(zhì)量流量計的特點是低流速特性好，對低密度、高密度氣體，小管徑和大管徑都適用，但對各種導熱系數(shù)不同的氣體，流量標定系數(shù)差異較大，需進行換算。測量精度不高是熱式流量計的缺點。質(zhì)量型流量計是渦街流量計發(fā)展的另一個分支。從20世紀70年代起就有人探討流量計測量質(zhì)量流量的可能性。80年代國外的儀表制造廠曾投入開發(fā)，并取得了一定的進展，陸續(xù)出現(xiàn)了一些專利。90年代日本橫河投入開發(fā)，并取得了一定成果。在國內(nèi)，重慶工業(yè)自動化儀表研究所，在80年代曾采用渦街流量計加氣體密度計的方案完成了氣體質(zhì)量流量計的開發(fā)，并獲得發(fā)明專利。近幾年，人們對質(zhì)量型渦街流量計還在進行不斷地探索。質(zhì)量型渦街流量計分間接式和直接式兩大類。間接式渦街流量計是指采用渦街流量計與其他儀表組合的方法，測量流體的質(zhì)量流量，直接式渦街流量計是指儀表的檢測元件直接檢測與質(zhì)量流量成正比的物理量，從而實現(xiàn)質(zhì)量流量測量的
蒸汽流量計。
