晶片晶圓表面缺陷檢測燈 黃綠光半導(dǎo)體材料表面檢查燈 晶片顆粒缺陷儀 wafer表面檢測燈
晶片晶圓表面缺陷檢測燈是一款黃綠光半導(dǎo)體材料表面檢查燈,可用于檢測晶片、晶圓表面缺陷,利用適合的LED燈源,通過光學(xué)鏡片折射出特殊波長的光源,照在晶片、晶圓表面折射出光路,從而發(fā)現(xiàn)表面的缺陷瑕疵。取代傳統(tǒng)的照明設(shè)備和光學(xué)系統(tǒng)機(jī)臺,直接通過照明光線和肉眼,觀測出晶片、晶圓表面表面的瑕疵,極大的節(jié)省了一般工廠的采購成本。
黃綠光半導(dǎo)體材料表面檢查燈采用人眼最敏感510-590NM之間波長光,來做最簡單與明確的判別,可精確檢查到1um以下的刮痕或微粒子,并且具有綠光和黃光2種顏色的復(fù)合光,幾乎可檢測出所有塵埃,大大降低產(chǎn)品不良率。使用壽命為2萬小時以上。光源強(qiáng)度可達(dá)90000LX,最小可以檢測1μ的表面臟污,比傳統(tǒng)的檢查燈,效用增強(qiáng)10倍.
晶片晶圓表面缺陷檢測燈
晶片晶圓表面缺陷檢測燈規(guī)格參數(shù):
型號:桌面式晶圓檢查燈,晶片顆粒缺陷儀,wafer表面檢測燈
光 源:高亮度的6000K LED加濾光片和光學(xué)鏡片; LED平均壽命是30000小時
照度:距離45cm → 48000lx;距離30cm → 68000 lx(我們掌握了核心技術(shù),我們可以提供不同照度的平行燈,它們可滿足不同客戶的要求)
照射面積: 18cm直徑的光圈 在40cm的距離
調(diào)光方式: 無極調(diào)光:從0% ~ 100%;
消耗功率:20 W
電源:采用110-220V電源供電(交流供電),可以24小時持續(xù)無間斷工作。
平行光強(qiáng)的穩(wěn)定性: > 90 %