TELEDYNE B-A離子規(guī) IGE 3000
IGE- 3000電離規(guī)管及電子部分 Teledyne Hastings儀器IGE- 3000電離規(guī)管和電子線路,為客戶提供了精確的,可重復(fù)的壓力測量,測量范圍始于中真空范圍,一直持續(xù)到超高真空范圍。 完整的測量系統(tǒng)包括一個雙絲微型Bayard-Alpert電離規(guī)管和電子封裝。該規(guī)管相對于傳統(tǒng)的Bayard-Alpert規(guī)管有許多創(chuàng)新之處。例如,燈絲會適當(dāng)?shù)木o張,從而提供可重復(fù)的性能表現(xiàn)。此外,所有管材料都經(jīng)過選擇和加工,讓產(chǎn)品具備始終如一的結(jié)構(gòu)完整性。 特性 ?量程- 10E-9Torr到10E-2Torr ?微型Bayard-Alpert規(guī)管 ?24伏直流電輸入(11.5伏- 30伏直流) ?穩(wěn)定精確的電極電壓 ?精密的靜電計 ?RS232/485通信 ?兩個獨立的TTL設(shè)置點 ?自動高壓力關(guān)斷設(shè)計 ?雙絲設(shè)計,帶狀態(tài)指示燈 ?遠程燈絲作業(yè)(使用Hastings HPM 2002 或者CVT-4) 應(yīng)用: ?薄膜鍍膜 ?真空加熱爐 ?等離子體制程 ?濺射 ?校準(zhǔn)系統(tǒng) ?化學(xué)氣相沉積(CVD) ?粒子加速器 ?照明產(chǎn)品制造附件 包括通用電源和串行電纜
| 規(guī)格 | IGE-3000s 真空規(guī)管 | 規(guī)格 | IGE-3000 顯示和電子部分 |
| 儀表/讀數(shù)計儀表/讀數(shù)計 | IGE-3000 | 顯示 | LED |
| 真空量程 | 10-9- 10-2 Torr (10-6 - 10 mTorr) | 控制點 | 兩個獨立的 TTL |
| 精度 | +/-15% 讀數(shù)在 量程 10-8 - 10-2 Torr 區(qū)間 | 輸出 | RS-232 (標(biāo)準(zhǔn)) RS-485 – 半雙工 RS-485 – 全雙工 |
| 感應(yīng)器類型 | 微型 Bayard-Alpert 規(guī)管 | 電氣連接 | 15針微型D |
| 燈絲數(shù)量 | 2 | 單位 | Torr |
| 管接口 | KF-25 (標(biāo)準(zhǔn)) 2.75楔形法蘭 1" 外徑 平口管 | 電源(內(nèi)置) | 通用電源 100-240 VAC 輸入 24 VDC 輸出 |
| **溫度 | 200oC 無電氣部分 | 電子抗干擾能力 | ENC 610101 Class A IEC 61326-1: 6.2節(jié) |
| 工作溫度 | 0 - 50 C | 電源 | 11.5 - 30 VDC |
| 約重 | 1.5 lbs(0.68KG) 根據(jù)型號而定 | 電源線長 | 3.2 feet (1 米) |
