閥體在流體作用下開啟時，曲臂變形使閥體升高，中空結(jié)構(gòu)諧波減速機SHA-40-160-2UH離開閥座；在流體作用下關(guān)閉時，閥體下落與曲臂和定位器壓并平齊。因此，閥曲臂的工作過程就等效于截錐螺旋拉伸彈簧。
當(dāng)壓電振子向外變形時，泵腔容積增大形成負力 FT 和開啟量 fT 均達到大中空結(jié)構(gòu)諧波減速機SHA-40-160-2UH，此時的作用力根據(jù)壓，閥體在負壓作用下開啟。因為是被動閥泵，閥體是在腔內(nèi)流體的作用下產(chǎn)生運動