真空用步進(jìn)電機(jī)
●無需真空導(dǎo)入裝置，可直接放入真空環(huán)境中使用的步進(jìn)的電機(jī)
●可輕松實(shí)現(xiàn)在真空環(huán)境下開環(huán)系統(tǒng)中的高精度控制
●提供能在低真空到超高真空的各種壓力環(huán)境中使用的客制品
●能適應(yīng) 200℃的高溫環(huán)境
●與常用的步進(jìn)電機(jī)尺寸大體相同大致相同
●適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備、人造衛(wèi)星用機(jī)器人
●適用于電子顯微鏡、加速器、光輻射分析儀等實(shí)驗(yàn)室設(shè)備
