Phytron久經(jīng)考驗的真空電機(jī)，并將其作為Vacuum Fab srl完全兼容的線性平移和旋轉(zhuǎn)平臺的一部分。中國設(shè)計師和制造商以及Phytron的經(jīng)銷合作伙伴，是挑戰(zhàn)極端環(huán)境的真正zhuanjia用于研究和工業(yè)的定位機(jī)制–范圍涵蓋多個產(chǎn)品設(shè)計，每個產(chǎn)品設(shè)計均針對手頭任務(wù)的精度和動態(tài)性能考慮。

圖像：Vacu Fab Italia的VLSC系列電動直線平臺和Phytron真空步進(jìn)電機(jī)

quanm兼容真空的Phytron步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動范圍，可適用于輻射或低溫環(huán)境等，包括緊湊的VLSC系列線性平臺：封閉式不銹鋼框架設(shè)計，帶有線性保持架球軸承，行程范圍為12.5和25mm通過不銹鋼絲杠和預(yù)加載的PEEK螺母裝置提供標(biāo)稱的亞微米精度。

圖片：Vacuum Fab Italia的VLSP系列電動線性平臺為真空室安裝準(zhǔn)備的多軸示例

VLSB還是不銹鋼材質(zhì)，是一種開放框架的薄型設(shè)計，專門針對入門級應(yīng)用。其循環(huán)滾珠軸承架可承受150 N的載荷，并有助于在250mm的行程范圍內(nèi)提供亞微米級的精度和可重復(fù)性。VLSP系列在封閉式機(jī)架設(shè)計中增加了第二個滑架選項，并選擇了各種長度至250 mm的行程。此外，如果使用可選的雷尼紹線性刻度尺，則在Phytron步進(jìn)電機(jī)為微步進(jìn)模式的情況下，工作臺的分辨率可低至0.05微米。對于與真空兼容的旋轉(zhuǎn)位移臺，VRSP系列包括一個精密蝸輪蝸桿驅(qū)動器，并可選擇開環(huán)或集成絕對編碼器反饋，分辨率可高達(dá)0.09 μrad。Vacuum Fab可以在X，Y，Z和旋轉(zhuǎn)平臺組裝時交付這些平臺，還可以制造與真空兼容的鏡架，

圖像：Vacuum Fab Italia的RodRail eXtreme系列電動線性平臺

對于zui具挑戰(zhàn)性的特高壓，輻射和低溫溫度環(huán)境，Vacuum Fab的RodRail eXtreme電動不銹鋼線性平臺結(jié)合了窄型，輕巧和模塊化靈活性，可用于多軸配置。開放式保持架設(shè)計有兩種尺寸，分別為RRX-Micro和RRX-Nano系列，其輪廓寬度分別為46和28 mm，通過四個平行的循環(huán)式桿-軌軸承支撐提供高剛度。不銹鋼/ PEEK導(dǎo)螺桿系統(tǒng)在真空中的可重復(fù)性小于1微米，在低溫溫度下的可重復(fù)性小于10微米。標(biāo)準(zhǔn)行程長度在25至450mm之間，有多種長度可供選擇?？梢詚hid溫度超過77°K時，UHVC真空度高達(dá)10-9托。（文章來源網(wǎng)絡(luò)，侵權(quán)即刪）