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產(chǎn)品簡介
Horiba SEC-Z514MGX質量流量控制器
Horiba SEC-Z514MGX質量流量控制器
產(chǎn)品價格:¥1000
上架日期:2010-11-11 14:00:10
產(chǎn)地:日本
發(fā)貨地:上海
供應數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
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詳細說明
    • 日本HORIBA STEC-Z512MGX
    • 日本HORIBA STEC-Z514MGX
    • 高精度:設定流量值±1.0%.
      MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償?shù)模?此技術保證在各控制范圍內獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度, HORIBA STEC研發(fā)了標準的氣體測量系統(tǒng), 并在大量實驗的基礎上,采集各種制程氣體的校準數(shù)據(jù)。
    • 高速響應
      SEC-Z500X 使用了最新開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng),保證任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內完成在設定不同流量時,PID數(shù)據(jù)將進行自動的調整,即使在氣體種類和流量范圍變更后,PID數(shù)據(jù)也能夠自動優(yōu)化,實現(xiàn)高速響應。
    • 復合氣體、復合流量方案
      HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶輕松地在現(xiàn)場更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 更好的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來,就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量,同時節(jié)省了時間和成本。
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    上海進申工貿有限公司
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