TORAY東麗 氧氣分析儀 MS-500
TORAY東麗 氧氣分析儀 MS-500
TORAY東麗 氧氣分析儀 MS-500
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最多可以同時(shí)測量8個(gè)點(diǎn)
可以從ppm級別到100%的廣泛濃度表示。
安裝在半導(dǎo)體制造裝置、真空裝置等上
傳感器為直插式(真空NW法蘭16/25/40)
對高耐久的傳感器施以特殊涂層，進(jìn)一步提高耐久性
| 測定原理 | ジルコニア濃淡電池式 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 分離型（変換器：壁掛式、センサ：直挿式） | ||
| 表示方式 | デジタル4桁表示(濃度表示) | ||
| 測定レンジ |
0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20～10-0atm 自動レンジ |
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| 繰返性 |
±0.5%FS以內(nèi) 0-1%レンジ以上 ±1%FS以內(nèi)または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満 0-1ppm,atmレンジは濃度保証範(fàn)囲外 |
||
| 測定點(diǎn)數(shù) | 1～8 | ||
| サンプルガス條件 | 圧力 | 10-3～200KPa（絶対圧） | |
| 流量 | 0.5～5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散狀態(tài)の測定) | ||
| 濕度 | 露點(diǎn)が周囲溫度以下 | ||
| 溫度 | 0～100℃ | ||
| その他 | 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機(jī)シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと | ||
| 比較ガス | 大気 | ||
| 記録計(jì)出力 | 伝送出力のみ | ||
| 伝送出力 | RS-232C | ||
| 警報(bào)出力 | なし | ||
| ウォームアップ時(shí)間 | 6分以內(nèi) | ||
| 寸法 | MS-500(コントローラ) | 92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず) | |
| MS-510(変換機(jī)) | 100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず) | ||
| センサユニット | SD16NW | 全長100mm(センシング部Φ11×39,胴體部Φ40×51) | |
| SD25NW | 全長100mm(センシング部Φ11×42,胴體部Φ40×48) | ||
| SD40NW | 全長100mm(センシング部Φ11×41,胴體部Φ40×49) | ||
| 質(zhì)量 | MS-500(コントローラ) | 約0.6Kg | |
| MS-510(変換器) | 約0.5kｇ | ||
| センサユニット | SD16NW | 約0.2Kg | |
| SD25NW | 約0.2Kg | ||
| SD40NW | 約0.35Kg | ||
| 外部接続 | 真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか | ||
| 使用電源 | 24VDC±10% | ||
