半導(dǎo)體設(shè)備靜電吸盤(ESC) 修理翻新
翻新要點(diǎn):
1. 表面平行度
---表面粗糙度
---表面平坦度
2. ESC的漏氣檢查
3.電容檢測
可以修復(fù)的機(jī)種及尺寸
12英寸盤,8英寸盤,6英寸盤
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