有的線性導(dǎo)軌是考慮誤差吸收方法進(jìn)行設(shè)計(jì)的。要安裝在難以加工和獲得精度的平面部位時(shí)，可以選擇鋼珠的接觸構(gòu)造為DF（正面組合）構(gòu)造的產(chǎn)品構(gòu)成容易吸收誤差的結(jié)構(gòu)。
因?yàn)椤白詣?dòng)調(diào)整”好的DF構(gòu)造的線性導(dǎo)軌將安裝面的傾斜經(jīng)由導(dǎo)軌本身進(jìn)行吸收，所以組裝在滑塊上的工作臺(tái)不易變形。
要進(jìn)一步提高線性導(dǎo)軌的“自動(dòng)調(diào)整功能”，需要提高工作臺(tái)的剛性。工作臺(tái)的剛性是提高使用線性導(dǎo)軌的裝置的精度的重要因素。
基于鋼珠的赫茲理論的分析結(jié)果為1/4.4，這是理論上將導(dǎo)軌、滑塊、安裝螺母等作為剛體看待得出的近似結(jié)果?？紤]到這一點(diǎn)，實(shí)際應(yīng)當(dāng)比1/4.4小。將給定的校直誤差量與工作臺(tái)的實(shí)際變位置量的比稱為精度平均化系數(shù)，而經(jīng)實(shí)驗(yàn)，該系數(shù)為1/7.1。我們認(rèn)為1/7.1的試驗(yàn)結(jié)果有相當(dāng)?shù)目煽啃浴?/p>
因此，線性導(dǎo)軌具有將安裝導(dǎo)軌的基礎(chǔ)加工及組裝時(shí)產(chǎn)生的垂直度、平面度、平行度等校直誤差平均化后進(jìn)行吸收的特點(diǎn)。
巧妙地利用這一功能特性可以制造高精度的工作臺(tái)，使用一般工業(yè)用的線性導(dǎo)軌也能獲得0.6μm/110mm的上下精度（垂直度），可以應(yīng)用于精度要求嚴(yán)格的半導(dǎo)體制造裝置
