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Item項(xiàng)目

CK-UVW-100

CK-UVW-160

CK-UVW-200

CK-UVW-300

CK-UVW-400

Stroke

行程

X axis:±5mm

X軸:±5mm

X axis:±5mm

X軸:±5mm

X axis:±5mm

X軸:±5mm

X axis:±6mm

X軸:±6mm

X axis:±3mm

X軸:±3mm

Y axis:±5mm

Y軸:±5mm

Y axis:±5mm

Y軸:±5mm

Y axis:±5mm

Y軸:±5mm

Y axis:±6mm

Y軸:±6mm

Y axis:±3mm

Y軸:±3mm

θaxis:±3°

θ軸:±3°

θaxis:±3°

θ軸:±3°

θaxis:±2.5°

θ軸:±2.5°

θaxis:±3°

θ軸:±3°

θaxis:±3°

θ軸:±3°

Table size工作臺(tái)尺寸

100mm×100mm

160mm×160mm

200mm×200mm

300mm×300mm

400mm×400mm

Base size 基座尺寸

130mm×130mm

180mm×180mm

240mm×240mm

350mm×350mm

450mm×450mm

Height高度

80mm

85mm

90mm

95mm

100mm

Motor

電機(jī)

Setpping motor

步進(jìn)馬達(dá)

Setpping motor

步進(jìn)馬達(dá)

Setpping motor

步進(jìn)馬達(dá)

Setpping motor

步進(jìn)馬達(dá)

Servomotor

伺服馬達(dá)

Stage material

平臺(tái)材質(zhì)

Lron :low temperature black chrome plating treatment   Aluminum :Black alumite treatment

鐵：低溫黑色鉻處理     鋁：黑色耐酸鋁處理

Weight重量

3.5kg

8.5kg

18kg

44kg

75kg

Resolution(factory seting)分辨率（出廠時(shí)設(shè)定）

0.2μm/pulse

Repetitive bing accuracy

重復(fù)定位精度

Within±1μm

±1μm以內(nèi)

Within±0.7μm

±0.7μm以內(nèi)

Within±1μm

±1μm以內(nèi)

Within±1μm

±1μm以內(nèi)

Within±0.7μm

±0.7μm以內(nèi)

Lost motion

無效運(yùn)動(dòng)

Within3μm

3μm以內(nèi)

Within2μm

2μm以內(nèi)

Within2μm

2μm以內(nèi)

Within2μm

2μm以內(nèi)

Within2μm

2μm以內(nèi)

Load carrying capacity when stopped

(Distributed load in the vertical direction)

靜止時(shí)負(fù)載功率（垂直方向等分布載荷）

50N

500N

1000N

2000N

3000N

Load carrying capacity when moving

(Distributed load in the vertical direction)

移動(dòng)時(shí)負(fù)載功率（垂直方向等分布載荷）

10N

100N

200N

400N

500N

Degree of parallelism平行度

30μm