[發(fā)明公布] YAG:Ce熒光屏實(shí)現(xiàn)毛細(xì)管放電極紫外光刻光源等離子體狀態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)
YAG:Ce熒光屏實(shí)現(xiàn)毛細(xì)管放電極紫外光刻光源等離子體狀態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)，涉及毛細(xì)管放電極紫外光刻光源中等離子狀態(tài)檢測(cè)。本發(fā)明解決了極紫外光刻光源等離子體常規(guī)檢測(cè)方法價(jià)格昂貴，使用條件苛刻的問(wèn)題，提出了YAG:Ce熒光屏實(shí)現(xiàn)毛細(xì)管放電極紫外光刻光源等離子體狀態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)。本發(fā)明的毛細(xì)管的中心線(xiàn)與聚焦系統(tǒng)的焦點(diǎn)位于同一直線(xiàn)上，可見(jiàn)光CCD圖像傳感器設(shè)置在聚焦系統(tǒng)的焦點(diǎn)處，毛細(xì)管發(fā)出的極紫外光入射到Y(jié)AG:Ce熒光屏上，YAG:Ce熒光屏將該極紫外光轉(zhuǎn)換為可見(jiàn)光，并入射到聚焦系統(tǒng)，經(jīng)聚焦系統(tǒng)聚焦后入射到可見(jiàn)光CCD圖像傳感器的光敏面上，形成光斑，可見(jiàn)光CCD圖像傳感器將采集到的光斑通過(guò)圖像輸出端輸入到計(jì)算機(jī)。本發(fā)明適用于極紫外光刻光源等離子體狀態(tài)的檢測(cè)。
最新 專(zhuān)業(yè)著作---正在申請(qǐng)書(shū)號(hào)，著作副主編掛名，可以?huà)旄敝骶?span>--每本書(shū)只有2個(gè)名額，先到先得。
————————————————————————————
圖書(shū)館管理與智能應(yīng)用
圖書(shū)館創(chuàng)新與現(xiàn)代管理研究
圖書(shū)館管理與閱讀服務(wù)研究
檔案資源建設(shè)與管理實(shí)踐
畜牧養(yǎng)殖與農(nóng)作物栽培技術(shù)研究
現(xiàn)代資源開(kāi)發(fā)與環(huán)境發(fā)展
環(huán)境發(fā)展與資源利用
資源勘查與地球物理勘探工程
通信工程與信號(hào)傳輸
新聞傳播與傳媒策劃研究
交通運(yùn)輸與物流管理
現(xiàn)代內(nèi)科診療與護(hù)理
現(xiàn)代口腔診療學(xué)
實(shí)用臨床內(nèi)科及護(hù)理
中醫(yī)診斷與臨床用藥
制藥工藝與醫(yī)院管理研究
詳情請(qǐng)咨詢(xún) 王編輯： QQ 707097193 59665468 2853910094
撥打熱線(xiàn) 0371-55365200 ；18037869640
書(shū)苑地址：河南省 鄭州市 中原區(qū) 隴海路與桐柏路交匯處 東南100米升龍金中環(huán)B座
職稱(chēng)學(xué)術(shù)論文發(fā)表，專(zhuān)業(yè)雜志權(quán)威推薦，圖書(shū)策劃書(shū)號(hào)申請(qǐng)，各類(lèi)專(zhuān)著署名出版，實(shí)用新型專(zhuān)利辦理，教材教輔低價(jià)批發(fā)銷(xiāo)售，科技成果鑒定。
