產(chǎn)品簡介：
FS1015系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類醫(yī)學(xué)用氣體的測量和過程控制而設(shè)計(jì)的。產(chǎn)品采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計(jì)。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品 |
FS1015CL |
單位 |
流量范圍 |
0~100 / 0~150 |
SLPM |
量程比 |
100：1 |
|
精度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
重復(fù)性 |
0.25 |
% |
零點(diǎn)輸出飄移 |
±30 |
mV |
輸出飄移 |
±0.12 |
%/ ℃ |
響應(yīng)時間 |
8 |
ms |
工作電壓 |
5±1% |
Vdc |
輸出方式 |
線性，模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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最大流量壓損 |
1300 |
Pa |
最大工作壓力 |
0.2 |
MPa |
工作溫度 |
-10~+55 |
℃ |
儲存溫度 |
-20~+65 |
℃ |
工作濕度 |
<95%RH(無結(jié)冰、無凝露) |
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電氣接口 |
5針插座，AMP 103956-4 |
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機(jī)械接口 |
ISO-15mm |
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校準(zhǔn)方式 |
空氣，20℃，101.325kPa |
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重量 |
21.5 |
g |
機(jī)械尺寸：
