ASML 4022.486.81492
ASML 4022.486.81492屬于光刻設(shè)備中的關(guān)鍵組件,可能應(yīng)用于深紫外(DUV)或極紫外(EUV)光刻系統(tǒng)。盡管寧德潤(rùn)恒未直接列出此型號(hào),但其供應(yīng)的其他ASML組件(如4022 486 5718、Mat:4022 636 65066、4022 486 1808)在技術(shù)參數(shù)上有共通性,可推測(cè)該組件具備以下核心功能:
光學(xué)控制:支持納米級(jí)光刻分辨率,確保芯片制造中的圖案性26。
模塊化設(shè)計(jì):適配ASML光刻機(jī)的集成化需求,便于安裝與維護(hù)25。
工業(yè)級(jí)穩(wěn)定性:適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境的高溫、潔凈度要求,保障長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性6。
核心參數(shù)推測(cè)
基于寧德潤(rùn)恒供應(yīng)的同類產(chǎn)品參數(shù)及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),ASML 4022.486.81492可能具備以下技術(shù)特性:
光學(xué)性能
波長(zhǎng)支持:可能覆蓋193nm(DUV)或13.5nm(EUV),具體取決于應(yīng)用場(chǎng)景26。
分辨率:若為EUV組件,可支持7nm及以下制程;若為DUV組件,則適用于28nm至7nm工藝6。
數(shù)值孔徑(NA):高NA設(shè)計(jì)(如1.35),提升光刻成像質(zhì)量2。
機(jī)械與電氣特性
結(jié)構(gòu)形式:模塊式設(shè)計(jì),兼容現(xiàn)場(chǎng)安裝需求25。
電源要求:標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)電壓(24V-48V),低功耗優(yōu)化5。
工作溫度:20°C至25°C恒溫環(huán)境,確保穩(wěn)定性6。
應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造:用于邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片的光刻環(huán)節(jié)6。
封裝技術(shù):支持先進(jìn)封裝工藝,如3D堆疊和異構(gòu)集成5。
寧德潤(rùn)恒同類產(chǎn)品對(duì)比
通過其供應(yīng)的其他ASML型號(hào),可進(jìn)一步驗(yàn)證技術(shù)趨勢(shì):
ASML 4022 486 5718:模塊式結(jié)構(gòu),硬PLC控制,適用于現(xiàn)場(chǎng)安裝,支持高分辨率光刻2。
ASML Mat:4022 636 65066:集成高速數(shù)據(jù)傳輸接口,強(qiáng)調(diào)低功耗與機(jī)械結(jié)構(gòu)5。
ASML 4022 486 1808:專為EUV光刻設(shè)計(jì),光源波長(zhǎng)13.5nm,亞納米級(jí)重復(fù)精度6。
行業(yè)背景與價(jià)值
ASML的光刻設(shè)備是半導(dǎo)體制造的核心裝備,其組件的直接決定芯片制程的先進(jìn)性。寧德潤(rùn)恒作為自動(dòng)化設(shè)備供應(yīng)商,通過提供ASML組件,助力國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠商突破技術(shù)瓶頸。盡管4022.486.81492的具體參數(shù)未完全公開,但結(jié)合其產(chǎn)品線特點(diǎn),可推斷其在提升光刻效率、降低生產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn)方面具有重要價(jià)值
ASML 4022.486.81492
聯(lián)系人:吳經(jīng)理 手機(jī):18596688429(微信同號(hào))郵箱:841825244@qq.com