3、FANUC M6iB機(jī)器人按照傳感器的結(jié)構(gòu)參數(shù)在信號變換過程中是否發(fā)生變化可分為：
a、物性型傳感器：在實(shí)現(xiàn)信號的變換過程中，結(jié)構(gòu)參數(shù)基本不變，而是利用某些物質(zhì)材料(敏感元件)本身的物理或化學(xué)性質(zhì)的變化而實(shí)現(xiàn)信號變換的。
FANUC M6iB機(jī)器人這種傳感器一般沒有可動結(jié)構(gòu)部分，易小型化，故也被稱作固態(tài)傳感器，它是以半導(dǎo)體、電介質(zhì)、鐵電體等作為敏感材料的固態(tài)器件。如：熱電偶、壓電石英晶體、熱電阻以及各種半導(dǎo)體傳感器如力敏、熱敏、濕敏、氣敏、光敏元件等?！ ?br />
b、FANUC M6iB機(jī)器人結(jié)構(gòu)型傳感器：依靠傳感器機(jī)械結(jié)構(gòu)的幾何形狀或尺寸(即結(jié)構(gòu)參數(shù))的變化而將外界被測參數(shù)轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電阻、電感、電容等物理量的變化，實(shí)現(xiàn)信號變換，從而檢測出被測信號?！ ?br />
如：電容式、電感式、應(yīng)變片式、電位差計(jì)式等?！ ?br />
4、FANUC M6iB機(jī)器人根據(jù)敏感元件與被測對象之間的能量關(guān)系(或按是否需外加能源)來分：
a、能量轉(zhuǎn)換型(有源式、自源式、發(fā)電式)：在進(jìn)行信號轉(zhuǎn)換時(shí)不需要另外提供能量，直接由被測對象輸入能量，把輸入信號能量變換為另一種形式的能量輸出使其工作。有源傳感器類似一臺微型發(fā)電機(jī)，它能將輸入的非電能量轉(zhuǎn)換成電能輸出，傳感器本身勿需外加電源，信號能量直接從被測對象取得。因此只要配上必要的放大器就能推動顯示記錄儀表。
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