測(cè)量原理：材料上下各用一個(gè)ZLDS10X激光位移傳感器測(cè)量。如圖：
ZTMS08在線測(cè)厚儀采用德國(guó)進(jìn)口的激光位移傳感器，將激光束作為機(jī)械探針,利用電荷耦合器件來實(shí)現(xiàn)光電轉(zhuǎn)換。它將激光光源、光電檢測(cè)和計(jì)算機(jī)工業(yè)控制技術(shù)相結(jié)合,廣泛用于工業(yè)生產(chǎn)，能在生產(chǎn)線上對(duì)各種材料的厚度、寬度、輪廓進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量。
其主要特點(diǎn)有：
◆ A05B-2518-C300#EMH 激光測(cè)厚儀ZTMS08測(cè)厚量程量身定制,最高精度0.5um；
◆ A05B-2518-C300#EMH 高速在線測(cè)量，最高測(cè)量值/秒；
◆ 多點(diǎn)測(cè)量，一臺(tái)工控機(jī)可連接多個(gè)在線測(cè)厚儀；
◆ 可連接生產(chǎn)線自動(dòng)控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制；
◆ 可連接公司 內(nèi)部管理網(wǎng)絡(luò)，如企業(yè)資源計(jì)劃ERP；目標(biāo)
1 能夠精確地調(diào)整和保持半導(dǎo)體晶片在進(jìn)行物理氣相沉淀（PVD）室中整齊排列。
2 避免在進(jìn)入沉淀室時(shí)，由于排列不整齊而造成晶片損壞。
3 確保沉淀物統(tǒng)一地沉淀在晶片上。
解決方案
微米位移傳感器在物理氣相沉淀系統(tǒng)中，晶片會(huì)被放入不同的沉淀室里，每一個(gè)沉淀室用來沉淀不同的物質(zhì)。傳感器被安裝在沉淀室的內(nèi)側(cè)（如圖所示）。每個(gè)傳感器測(cè)量載有晶片的傳送器在沉淀室中的位置。Kaman系統(tǒng)提供了模擬和數(shù)字兩種輸出信號(hào)，以防止超出系統(tǒng)可承受的范圍。
結(jié)果：提高了時(shí)間和精度。
微米位移傳感器特點(diǎn)
1 類型：SMT-9700
2 非接觸性：應(yīng)用渦電流的技術(shù)，每一個(gè)傳感器均可以無接觸地測(cè)量到目標(biāo)體的位置。
3 高分辨率：系統(tǒng)可識(shí)別
4 重復(fù)性： Kaman傳感器可以提供高精度的性能，可以反復(fù)用于物理氣相沉淀。
5 系統(tǒng)多功能性：測(cè)量系統(tǒng)可以廣泛用于測(cè)量的各個(gè)領(lǐng)域。
微米位移傳感器解決方案
在沉淀開始前，Kaman傳感器確保金屬盤與噴灑器保持平行的位置關(guān)系，噴灑器用來均勻噴射氣體(如圖所示)。傳感器則用來做校準(zhǔn)裝置，這樣校準(zhǔn)可以定位金屬盤在一個(gè)最合適的位置。Kaman系統(tǒng)提供了模擬和數(shù)字兩種輸出信號(hào)，以防止信號(hào)值超出可承受范圍。如果金屬盤傾斜，制動(dòng)裝置將校正其位置。
微米位移傳感器能靜態(tài)和動(dòng)態(tài)地非接觸、高線性度、高分辨力地測(cè)量被測(cè)金屬導(dǎo)體距探頭表面的距離。它是一種非接觸的線性化計(jì)量工具。電渦流傳感器能準(zhǔn)確測(cè)量被測(cè)體（必須是金屬導(dǎo)體）與探頭端面之間靜態(tài)和動(dòng)態(tài)的相對(duì)位移變化。
近幾年，政府不斷加大對(duì)基礎(chǔ)設(shè)施的投資，各地方的基礎(chǔ)和配套設(shè)施得到了根本的改善，路越來越寬、越來越平整、也越來越好
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