8413701 78462-02K即試制出種靜電式微型繼電器也稱(chēng)微型機(jī)電開(kāi)關(guān)，它是利用靜電引力使懸臂梁彎曲，觸點(diǎn)閉合完成開(kāi)關(guān)動(dòng)作的，其構(gòu)造13.另外，它的梁長(zhǎng)150μm，寬30μm，厚0，4μm，8413701 78462-02K動(dòng)作電壓為62V，能流過(guò)約lmA的電流，并且控制部和開(kāi)關(guān)部完全電隔離進(jìn)入90年代后為了降低這種繼電器的驅(qū)動(dòng)電壓或增加導(dǎo)通電流，許多學(xué)者進(jìn)行了有益的嘗試45.2是這些學(xué)者所試制的微型繼電器的尺寸及動(dòng)作電壓，其中日本町丁公司枚田。耵1研究小組己達(dá)最小驅(qū)動(dòng)電壓1代6.靜電式微型繼電器的特點(diǎn)是工藝較簡(jiǎn)單，易于微型化，但是影響其實(shí)用化的最大障礙還是它的驅(qū)動(dòng)電壓與普通了孔電平的工作電壓不兼容。另外由于繼電器面積過(guò)小致使觸點(diǎn)接觸壓力很小難以通過(guò)較大電流；反言之，增大繼電器接觸面積會(huì)降低觸點(diǎn)吸合電壓，但是同時(shí)又增大了器件體積也是該種器件尚未實(shí)用化的理由之。
8413701 78462-02K 除靜電式微型繼電器之外，筆者在日本國(guó)內(nèi)的學(xué)術(shù)會(huì)議上還看到了公司研制微型熱磁繼電器的報(bào)告它是平面型雙觸點(diǎn)構(gòu)造，用微型加熱器控制磁性膜釹鐵硼的溫度，利用居里效應(yīng)完成繼電器吸合功能的。這種構(gòu)造可望降低控制電壓，但制造中要濺射較萼出電厚的磁膜，熱處理要求高，另外由于熱致動(dòng)系統(tǒng)固有的滯后性決定了響應(yīng)速度底，因而目前還尚處于研究階段。
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