8154401 78462-02D近年來，基于MEMS技術的微傳感器微電磁型執(zhí)行器的研究方興未艾，這些研究為研制微型電磁型繼電器提供了借鑒。微型電磁繼電器與普通電磁繼電器樣應主要由磁路系統(tǒng)和觸點系統(tǒng)構(gòu)成，考慮到MEMS工藝條件限制，其電流驅(qū)動線圈必然是平面型金等得到。關于硅片上制作微線圈的工藝，在微型電感微型磁通門微型電磁發(fā)電機或電動機以及微型電磁執(zhí)行器的研究中均有涉及89，如筆者曾到日本富士電機公司位于橫須賀的研究所交流訪問，該所從事，5研究的中澤8154401 78462-02D小組研制了種微型永磁電動機1Q，其線圈直徑約lmm，線徑17.μm，線間間隔3μm，占空比約75ㄇ，共4層總計40匝，筆者認為這樣的技術可用于微繼電器制造中。隨著或準1技術的推廣，在微構(gòu)造中采用電鍍工藝已比較普遍，筆者在陣列式微型磁性開關的研究中比較成功地使用了電鍍鎳工藝，13.
8154401 78462-02D筆者通過對近年來國際上微機械繼電器現(xiàn)狀的研究，將目前研究中出現(xiàn)的幾種有代1996年第九屆國際真空微電子會議，Grigorishin，I，L；Mukhurov，N，I；Efemov，G，I發(fā)了為帶有寬電壓范圍的微轉(zhuǎn)換靜電器件系列14.文中介紹了包括兩種電介質(zhì)的襯底，種較厚的2，3，4另種較薄1540，且有個可動的轉(zhuǎn)換單元。在膜電極沉積和互連后，器件的形成是通過引腳和孔將兩個襯底緊密焊接在起。
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