本特利330130-040-00-00這種繼電器的操作電壓范圍可做到50200,且當(dāng)可動(dòng)陽極用鋁材料厚度為5 4時(shí),電極自身是絕緣層。為將動(dòng)作電壓降到1520,以下,還開發(fā)了種絕緣層厚度在0.51.0 4的器件。在另設(shè)計(jì)中,用帶有孤島的分立絕緣層取代了連續(xù)的絕緣層以防止出現(xiàn)很高的駐留電荷。如將絕緣層厚度降為O.lμm以下,可進(jìn)步降低吸合電壓。在理論上,實(shí)現(xiàn)操作電壓達(dá)到500,是可能的。
本特利330130-040-00-00 種用于微機(jī)械繼電器的熱控制磁執(zhí)行器了它的動(dòng)作是通過器件外激光束加熱而改變局部磁化強(qiáng)度來實(shí)現(xiàn)的。制作是通過面鍍鎳實(shí)現(xiàn)。用于驅(qū)動(dòng)1的激光極管的功率是30mW.微繼電器的開關(guān)時(shí)間經(jīng)實(shí)驗(yàn)測得為10mS,與傳統(tǒng)機(jī)械繼電器相當(dāng)。經(jīng)計(jì)算觸點(diǎn)接觸力為20μN(yùn),這個(gè)力通過增加TCMA的尺寸可得以改善。
本特利330130-040-00-00 1997年5月傳感器與執(zhí)行器58卷尺66咖3.栳1等人發(fā)文為脈沖電流激勵(lì)的雙穩(wěn)態(tài)磁執(zhí)行器的設(shè)計(jì)與制作16.該文描述了種脈沖電流激勵(lì)的雙穩(wěn)態(tài)磁執(zhí)行器的設(shè)計(jì)與制作過程文中所述的執(zhí)行器包括個(gè)帶有雙極片的平面型導(dǎo)磁體,個(gè)導(dǎo)磁的懸臂梁,個(gè)激勵(lì)線圈和永久磁鐵。懸臂梁的運(yùn)動(dòng)有兩個(gè)穩(wěn)定狀態(tài),即總是能與其中之保持接觸。通過流經(jīng)激勵(lì)線圈的脈沖電流切換懸臂梁的接觸狀態(tài)。該微執(zhí)行器采用紫外光刻技術(shù)合金蒸鍍工藝犧牲層蝕刻工藝進(jìn)行制作的。開關(guān)脈沖電流施加在懸臂梁上的勵(lì)磁線圈產(chǎn)生的電磁力為5,懸臂梁端點(diǎn)處的接觸力可達(dá)0.25,1.
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