此次開發(fā)主要解決了在半導(dǎo)體晶圓上形成熱電薄膜、觸媒膜、電極、配線及加熱器的傳感器元件制造技術(shù)。同時(shí)，還提高了傳感器的耐用性，降低了生產(chǎn)成本。作為熱電轉(zhuǎn)換元件的關(guān)鍵技術(shù)，確立了利用濺射蒸鍍法形成SiGe膜之后進(jìn)行熱處理的薄膜成形技術(shù)。因?yàn)镾iGe熱電轉(zhuǎn)換材料的熱電特性高，非常適宜采用半導(dǎo)體工藝。為了使觸媒不受大氣中水蒸汽的影響而穩(wěn)定地發(fā)揮作用，溫度要維持在100℃。作為維持觸媒溫度的加熱器集成技術(shù)，采用MEMS技術(shù)研制出隔熱性很高的微加熱器。將熱電圖、微加熱器、觸媒3個(gè)組成要素集成到了尺寸約為1×2mm2的薄膜上，制成了尺寸為4×4mm2的傳感器芯片。
在以陶瓷為支撐材料的鉑觸媒耐用性試驗(yàn)中，將新開發(fā)的微型熱電式氫氣傳感器放置在相對(duì)溫度約為65%的室溫環(huán)境中，持續(xù)工作了3個(gè)月，在此期間對(duì)它對(duì)100ppm，1000ppm和1%氫氣濃度的反應(yīng)特性進(jìn)行了測試。結(jié)果證實(shí)，性能十分穩(wěn)定。此次采用普通半導(dǎo)體工藝，就將微型傳感器集成到了硅底板上，因此該公司認(rèn)為，將來還可集成處理傳感器信號(hào)的電子線路，因此便于小型化，以及通過量產(chǎn)降低生產(chǎn)成本，實(shí)用潛力很大。
AB 1336-F1-SP15A 模塊
AB 1336F-BRF200-AE-EN USPP A20B-2900-0350 1336FBRF200AEEN
AB 1336F-BRF10-AA-EN-HAS2-L9E 模塊
AB 1336F-BRF200-AA-EN-LA2-L6 USPP 1336FBRF200AAENL
AB 1336F-BRF05-AE-EN 模塊
AB 1336F-BRF50-AA-EN or AE-EN PLUS II -
AB 1336F-BRF100-AA-EN-HCS2-L6 模塊
AB 1336F-BRF100-AA-EN SERIES A SENSORLESS VECTOR
AB 1336F-BRF30-AA-EN-HAS2 模塊
AB 1336F-BRF200-AE-ES-HAS2-L5 USPP 1336FBRF200AEESH
AB 1336F-BRF50-AE-EN 傳感器
AB 1336F-BRF07-AN-EN USPP 1336FBRF07ANEN
AB 1336F-BRF100-AN-EN 模塊
AB 1336F-BRF50-AA-EN AC5HP
AB 1336F-BRF05-AA-EN-HAS1-L6E 模塊
AB 1336F-BRF75-AA-EN 1336 PLUS II AC DRIVE
AB 1336F-BRF75-AA-EN-HAS2-L6 模塊
AB 1336F-BRF20-AN-EN NSFP A20B-2900-0350 1336FBRF20ANEN
AB 1336F-CWF150-AN-EN 模塊
AB 1336F-CWF150-AN-EN15HP 575V
AB 1336F-BRF200-AN-EN-HAS2-LA4-L6模塊
AB Servo Frequincy1336F-BRF50-AN-EN 1336FBRF50ANEN
AB 1336F-BRF75-AX-EN-L6 模塊
14485 Allen-Bradley 1336F-LA7 Analog B
AB 1336F-CWF20-AN-EN 模塊
AB 1336 Plus II 10HP Sensorless Vector1336F-BRF100-AA-EN-HCS2
AB 1336F-BRF100-AA-EN-HASP-L6 模塊
AB 1336F-BRF30-AN-EN-L4 USPP 1336FBRF30ANENL4
AB 1336F-B050-AA-EN 傳感器
AB 1336F-B100-AA-EN-L6 100HP AC Motor
AB 1336F-CWF75-AN-EN-HASP-L4 模塊
AB 1336F-BRF30-AN-EN-L6 VFD480VAC 3HP 1336FBR30ANENL6
AB 1336F-AA3 模塊
AB 1336F-C075-AN-EN A20B-2900-0350 VARIABLE AC75HP 5
AB 1336F-C075-AN-EN 模塊
