服就是一個(gè)提供閉環(huán)反饋信號(hào)來(lái)控制位置和轉(zhuǎn)速.
A14B-0076-B209伺服在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用極其廣泛,例如在涂膠機(jī),光刻機(jī)等設(shè)備上均有。
伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)（ServoSystem）簡(jiǎn)稱伺服系統(tǒng)，是一種以機(jī)械位置或角度作為控制對(duì)象的自動(dòng)控制系統(tǒng)，例如數(shù)控機(jī)床等。使用在伺服系統(tǒng)中的驅(qū)動(dòng)電機(jī)要求具有響應(yīng)速度快、定位準(zhǔn)確、轉(zhuǎn)動(dòng)慣量（使用在機(jī)電系統(tǒng)中的伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量較大，為了能夠和絲杠等機(jī)械部件直接相連。伺服電機(jī)有一種專門的小慣量電機(jī)，為了得到極高的響應(yīng)速度。但這類電機(jī)的過(guò)載能力低，當(dāng)使用在進(jìn)給伺服系統(tǒng)中時(shí)，必須加減速裝置。轉(zhuǎn)動(dòng)慣量反映了系統(tǒng)的加速度特性，在選擇伺服電機(jī)時(shí)，系統(tǒng)的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量不能大于電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)慣量的3倍。）較大等特點(diǎn)，A14B-0076-B209這類專用的電機(jī)稱為伺服電機(jī)。當(dāng)然，其基本工作原理和普通的交直流電機(jī)沒有什么不同。該類電機(jī)的專用驅(qū)動(dòng)單元稱為伺服驅(qū)動(dòng)單元，有時(shí)簡(jiǎn)稱為伺服，一般其內(nèi)部包括電流、速度和/或位置閉環(huán)。
伺服（Servo)是一個(gè)性能上的名詞，一般只要主令和控制結(jié)果的近似達(dá)到了一定高的程度就能稱為伺服，這和機(jī)器的結(jié)構(gòu)沒A14B-0076-B209有直接的關(guān)系。例如伺服系統(tǒng)都沒有精確的慣量匹配的范圍，這是因?yàn)閼T量匹配的結(jié)果只要不影響控制對(duì)象對(duì)主令跟隨或影響不大就好了，跟具體是3還是3.5沒有關(guān)系。伺服系統(tǒng)也不一定是電機(jī)系統(tǒng)，有的氣動(dòng)系統(tǒng)就稱為氣動(dòng)伺服。
伺服系統(tǒng)本質(zhì)上是一種隨動(dòng)系統(tǒng)。只不過(guò)被控量是位移或是其對(duì)時(shí)間的導(dǎo)數(shù)。如果要問什么是隨動(dòng)系統(tǒng)，就是一個(gè)系統(tǒng)的輸出盡可能以最快，最精確的方式復(fù)現(xiàn)輸入信號(hào)。其衡量的指標(biāo)有超調(diào)量、延遲。
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Trane Company Model: VAL 0082. PN: 2701-1067-01-07
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