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一、用途： http://www.vihent.com
透反射式硅片檢測顯微鏡VH-500主要用于太陽能電池硅片的觀察.它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，并具有較大的視場范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù), 配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡。
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機雜質(zhì)、無機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進行質(zhì)量控制最普通的儀器.
二、技術(shù)參數(shù) http://www.vihent.com
1.物鏡
反射物鏡 Pc4X,Pc10X,Pc25X,Pc40X(明場/暗場),Pc63X
透射物鏡 Pc4X,Pc10X,Pc25X,Pc40X,Pc100X
2.目鏡
8X,10X,10X(帶0.1mm分劃值),12.5X，16X
3.光學(xué)總放大倍數(shù)：40X-2000X
4.測微尺: 0.01mm物鏡測微尺
5.物載片平板
6.濾色片:藍,綠,黃,灰,毛玻片
7.檢偏鏡
8.燈泡:12V50W鹵素?zé)?/DIV>
9.光源：落射光和透射光
10.成像系統(tǒng):500萬高像素的數(shù)字攝像頭
三、系統(tǒng)組成
電腦型硅片檢測顯微鏡(VH-500C): 1、顯微微 2、適配鏡 3、500萬高像素攝像頭
4、計算機(選配)
四、總放大參考倍數(shù)
電腦型硅片檢測顯微鏡(VH-500D)：50--40000倍 （17寸顯示器為例）
五、選購件 http://www.vihent.com
1.二維測量軟件VH-100 2.目鏡： 20X 10X(帶刻度) 3.物鏡：20X 80X
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