美國 HVA 不銹鋼高真空閘閥 超高真空插板閥 11000 系列
上海伯東美國 HVA 真空閘閥 真空插板閥 11000 系列滿足高真空和超高真空應用, 清潔和高密封性保證 HVA 真空閘閥 與前級泵 渦輪分子泵, 離子泵等完美聯用.
HVA 不銹鋼高真空閘閥 真空插板閥 11000 系列產品特點
高真空和超高真空, 閥門主體和內部組件采用不繡鋼材質
閥門口徑 DN 16 - 800 mm , 手動或氣動驅動
不繡鋼焊接波紋管, 標準法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
最高溫度 250°C
堅固耐用, 達到設定的真空度時, 氣動閥門自動開閉, 有purge 接口
全部美國設計, 制造, 組裝, 原裝進口
HVA 高真空閘閥 超真空插板閥 11000 系列技術參數
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閥門材質: |
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- 閥門主體 |
304 不銹鋼 |
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- 焊接波紋管軸封 |
AM - 350 |
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閥門密封方式 |
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- 高真空 |
氟橡膠 |
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- 超高真空 |
銅墊圈 / 氟橡膠 |
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真空: |
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- 壓力范圍 |
高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
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- 漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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- 差壓關閉 |
1 bar ( 任意位置 ) |
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- 開啟前最大壓力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤溫度（不含電磁閥）: |
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- 佛橡膠密封 |
150 °c, 可選配置最大 250 °c |
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- 銅墊圈密封 |
閥門關閉 200 °c, 閥門打開 150 °c |
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- 驅動方式 |
手動 60 °c, 氣動 60 °c |
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- 氣體 |
80 psig (5.5 bar) |
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- 電磁 |
4.0 Watts |
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- 供電 |
120 VAC 50 /60 Hz |
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- 可選電壓 |
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
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- 位置指示器,最大 |
115 VAC |
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使用壽命: 100,000 啟閉次數 (具體視實際使用情況決定) |
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公稱通徑: DN 16 - 800 mm |
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美國 HVA 11000 系列真空閘閥有正面鎖定的中心裝置或一個軟封的氣動閘（可選擇的) , 閥門保持關閉狀態(tài)以防空氣壓力損失, 11000 系列真空閘閥獨特的氣缸設計保證最低的沖擊和振動, 因此特別適合應用于半導體制造和其他要求低振動的敏感加工工業(yè). HVA不銹鋼真空閘閥提供了業(yè)界最小的內部接口. 閥體和所有內部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr 的真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門的最大完整性,效消除了虛漏和缺陷部分, 閥體變形. 閥門手動, 三種驅動方式可選, 或定制法蘭滿足不同應用. 美國 HVA 真空閘閥 11000 系列可任意位置安裝.
HVA 真空閘閥 真空插板閥應用案例一
上海伯東客戶某大學自主搭建分子束外延與掃描隧道顯微鏡系統(tǒng), 采用美國 HVA 真空閘閥 11000 系列并搭配 Pfeiffer 分子泵 Hipace 300 和渦輪分子泵 Hipace 80 成功分析生長晶體表面結構.
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HVA 真空閘閥 真空插板閥應用案例二
美國 HVA 真空插板閥在半導體管道中的應用
半導體管道插板閥應用示意圖 現場圖
HVA 標準周期真空閘閥 11000 系列組成:
美國 HVA 真空閥門-美國最大真空閥門制造商. 美國 HVA 原裝進口真空閥門, 超過50年的高真空和超高真空閥門設計與制造. 主營高真空閘閥, 超高真空插板閥廣泛應用于半導體, 鍍膜, 激光, 科研, 工業(yè)等領域. 上海伯東是美國 HVA 真空閥門在中國地區(qū)唯一指定總代理商。
