日本KOFLOC
EX700系列氣體質量流量計-數字式經濟型
EX700全新數字式氣體質量流量計
EXE-FLOW(TM)是Exact“準確的流量測量”
Excellent以“卓越的功能”為理念進行產品化。
從小流量(F.S.10scm)到大流量(F.S.200slm)，并準備了11范圍標準庫存。
搭載新型高性能傳感器的低成本模型
小型輕量、單電源DC24V驅動
搭載RS-485通信功能標準
RoHS、CE標準對應
用顯示器一體型簡單操作：
瞬間/累計流量顯示；氣體種類切換；CF任意設定
上下限警告設定；流量單位變更；可選針閥
性能參數
EX700系列氣體質量流量計-數字式經濟型
量程(N2)
10SCCM-200SLPM
氣體
非腐蝕氣體，部分腐蝕氣體
精度
10SCCM-20SLM
±1.0%FS
50-200SLM
±1.5%FS
重復性
±0.2%FS
響應時間
2秒以內
耐壓
1.0Mpa
溫度范圍
5~50℃
精度保證溫度
15~35℃
保存溫度
-10~60℃
濕度范圍
10-90%RH(不能結露)
材質
本體SUS316、SUS316L
密封圈VITON、NBR、PTFE
電氣接口
DB9
通訊
RS485，Modbus-RTU
輸出信號
0-5V\1-5V\4-20mA可選
供電電壓
+24VD
消耗電路
最大100mA
管路連接
1/4卡套，20SLM以內
3/8卡套，50-200SLM
可選
針閥
