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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
上海伯東代理美國(guó)原裝進(jìn)口 KRI 考夫曼離子源 KDC 100
上海伯東代理美國(guó)原裝進(jìn)口 KRI 考夫曼離子源 KDC 100
產(chǎn)品價(jià)格:
上架日期:2023-03-16 10:52:46
產(chǎn)地:美國(guó)
發(fā)貨地:上海
供應(yīng)數(shù)量:不限
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詳細(xì)說(shuō)明

    因產(chǎn)品配置不同, 價(jià)格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)

     

    KRI 考夫曼離子源 KDC 100
    上海伯東代理美國(guó)原裝進(jìn)口 KRI 考夫曼離子源 KDC 100 中型規(guī)格柵極離子源, 廣泛加裝在薄膜沉積大批量生產(chǎn)設(shè)備中, 考夫曼離子源 KDC 100 采用雙陰極燈絲和自對(duì)準(zhǔn)柵極, 標(biāo)準(zhǔn)配置下離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過(guò) 400 mA.

    KRI 考夫曼離子源 KDC 100 技術(shù)參數(shù):

    型號(hào)

    KDC 100

    供電

    DC magnetic confinement

     - 陰極燈絲

    2

     - 陽(yáng)極電壓

    0-100V DC

    電子束

    OptiBeam?

     - 柵極

    專(zhuān)用, 自對(duì)準(zhǔn)

     -柵極直徑

    12 cm

    中和器

    燈絲

    電源控制

    KSC 1212

    配置

    -

     - 陰極中和器

    Filament, Sidewinder Filament  或LFN 2000

     - 安裝

    移動(dòng)或快速法蘭

     - 高度

    9.25'

     - 直徑

    7.6'

     - 離子束

    聚焦
    平行
    散設(shè)

     -加工材料

    金屬
    電介質(zhì)
    半導(dǎo)體

     -工藝氣體

    惰性
    活性
    混合

     -安裝距離

    8-36”

     - 自動(dòng)控制

    控制4種氣體

    * 可選: 可調(diào)角度的支架
    KRI 考夫曼離子源 KDC 100 應(yīng)用領(lǐng)域:
    濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
    輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜)IBAD
    表面改性, 激活 SM
    離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD
    離子蝕刻 IBE

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