上海伯東美國 HVA 長壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列是專為最苛刻的真空環(huán)境而設(shè)計. 真空閘閥 71000 系列由堅(jiān)固的不繡鋼剛坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側(cè)密封的門上雙密封設(shè)計, 閥門內(nèi)部幾乎沒有移動部件, 最大限度減少粒子的生成. 免維護(hù)設(shè)計(不繡鋼波紋管與工藝過程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴(yán)酷的應(yīng)用.
上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區(qū)唯一指定總代理商。
1.易于系統(tǒng)集成, 幾乎滿足所有應(yīng)用
2.不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護(hù)
3.真空閘閥堅(jiān)固的雙重密封設(shè)計和低粒子
4.使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數(shù)
5.高壓和機(jī)械加工的不銹鋼閥體
6.真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
7.手動或氣動控制
8.標(biāo)準(zhǔn)法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
9真空閘閥最大烘烤溫度 250°C
10.全部美國設(shè)計, 制造, 組裝, 原裝進(jìn)口
閥門材質(zhì):
- 閥門主體
304 不銹鋼
- 焊接波紋管軸封
AM - 350
閥門密封方式
- 高真空
氟橡膠
真空:
- 壓力范圍
高真空 1x10-9 mbar
- 漏率
< 2x10-9 mbar l/S
- 差壓關(guān)閉
2 bar (任意位置)
- 開啟前最大壓力
≤ 1 bar
烘烤溫度（不含電磁閥）:
- 佛橡膠密封
150 °c, 可選配置最大 250 °c
- 驅(qū)動方式
手動 60 °c, 氣動 60 °c
- 氣體
80 psig (5.5 bar)
- 電磁
4.0 Watts
- 供電
120 VAC 50 /60 Hz
- 可選電壓
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
- 位置指示器,最大
115 VAC
使用壽命: > 250,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定)
公稱通徑: DN 50 - 200 mm
HVA 真空閘閥 真空插板閥 71000 系列 產(chǎn)品優(yōu)勢：
HVA 真空閘閥 真空插板閥 71000 系列 技術(shù)參數(shù)：
或 12, 24 VDC
或 28 VDC, 20 mA
HVA 長壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列部件圖
