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產品簡介
電子工業(yè)用超純水設備
電子工業(yè)用超純水設備
產品價格:¥000
上架日期:2011-03-29 13:21:07
產地:上海
發(fā)貨地:上海
供應數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
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詳細說明
    一、概述
    半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質技術分為五個行業(yè)標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質。
    二、工藝流程
    1、一級反滲透+混床(出水2---15mΩ.cm)
    原水箱→原水泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→保安過濾器→高壓泵→反滲透主機→純水箱→純水泵→陰陽離子交換混床→微孔過濾器→儲水罐→純水輸送泵→用水點
    2、一級反滲透+EDI系統(tǒng)(出水5---15mΩ.cm)
    原水箱→原水泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→保安過濾器→高壓泵→反滲透主機→純水箱→EDI系統(tǒng)→儲水罐→純水輸送泵→用水點
    3、二級反滲透+EDI系統(tǒng)(出水18mΩ.cm)
    原水箱→原水泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透主機→PH調節(jié)→二級級高壓泵→二級反滲透→純水箱→脫氣裝置→微孔過濾器→EDI系統(tǒng)→拋光混床系統(tǒng)→儲水罐→純水輸送泵→用水點
    三、出水標準
    符合美國ASTM標準、符合《中國電子行業(yè)超純水國家標準》GB/T1146.1-1997
    (18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm)
    四、訂貨須知
    具體的設備處理量、出水標準、設備材質、尺寸及電器控制等,我公司將會提供給您詳細的方案說明。
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