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廠家名稱 |
檢測器型號 |
接口單元型號 |
最小檢測分辨率 |
最大允許速度 |
(株) 索尼 |
SR74 SR84 |
不需要 |
1.0 μ m |
180m/min |
0.5 μ m |
125m/min |
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0.1 μ m |
25m/min |
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0.05 μ m |
12m/min |
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海德漢 ( 株) |
LS187 LS487 |
IBV 101(10 分割 ) |
0.5 μ m |
120m/min |
IBV 102(100 分割 ) |
0.05 μ m |
24m/min |
||
IBV 660B(400 分割) |
0.0125 μ m |
7.5m/min |
HF224S-A48