上海倉(cāng)庫(kù)存HEIDENHAIN光柵尺689697-21LC?185?1040?5,0
測(cè)量原理
測(cè)量基準(zhǔn)
海德漢光學(xué)掃描的直線光柵尺或編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)都是周期刻線-光柵
這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上 ,對(duì)于大長(zhǎng)度的光柵尺,用鋼帶作為光柵尺基體 , 海德漢公司用以下特別開(kāi)發(fā)的光刻工藝制造***光柵 ,
? AURODUR:在鍍金鋼尺帶上蝕刻?hào)啪€;典型柵距:40 ?m ,
? METALLUR:抗污染的鍍金層金屬柵線;典型柵距:20 μm ,
? DIADUR:玻璃基體上超硬鉻線(典型柵距:20 μm)或玻璃基體上三維鉻線格柵(典型柵距:8 μm) ,
? SUPRADUR相位光柵:光學(xué)三維平面格柵;抗污能力;典型柵距:不超過(guò)8 μm ,
? OPTODUR相位光柵:光學(xué)三維平面格柵,***反光性能;典型柵距:不超過(guò)2 μm ,
除極小柵距外,由該工藝刻制的光柵擁有***的邊緣清晰度和均勻性 ,結(jié)合光電掃描法,邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號(hào)的關(guān)鍵 , 母版光柵采用海德漢公司定制的***刻線機(jī)制造
光電掃描
海德漢的大多數(shù)光柵尺采用光電掃描原理,光電掃描在工作中無(wú)接觸,因此無(wú)磨損 ,光電掃描可以檢測(cè)到非常細(xì)小的光柵,柵線寬度可僅數(shù)微米,并能輸出非常細(xì)小的信號(hào)周期信號(hào) ,測(cè)量基準(zhǔn)的柵距越小,光電掃描的衍射現(xiàn)象越嚴(yán)重 ,海德漢直線光柵尺采用兩種掃描原理:
? 成像掃描原理用于20 ?m至大約40 ?m的柵距 ,
? 干涉掃描原理用于更小柵距的光柵,例如,8 ?m
成像掃描原理
簡(jiǎn)單地說(shuō)成像掃描原理是用透射光生成信號(hào):兩個(gè)柵距相同或相近的光柵與掃描掩膜彼此相對(duì)運(yùn)動(dòng) ,掃描掩膜的基體為透明色,而作為測(cè)量基準(zhǔn)的光柵材料可為透明材料也可以為反光材料 ,當(dāng)平行光穿過(guò)光柵時(shí),以特定的間隔形成明暗的光影區(qū) ,掃描光柵位于此處 ,當(dāng)兩個(gè)光柵相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí),入射光進(jìn)行調(diào)制:在狹縫對(duì)齊時(shí),光線通過(guò) ,如果一個(gè)光柵的刻線與另一個(gè)光柵的狹縫對(duì)齊,光線無(wú)法通過(guò) ,光電池組將這些光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)化成電信號(hào) ,特殊結(jié)構(gòu)的掃描掩膜將光強(qiáng)調(diào)制為近正弦輸出信號(hào) ,光柵條紋的柵距越小,掃描掩膜與光柵尺間的間距越小和公差越嚴(yán) ,LC、LS和LB系列直線光柵尺為成像掃描原理
干涉掃描原理
干涉掃描原理是利用精細(xì)光柵的光衍射和光干涉生成位移測(cè)量的信號(hào) ,階梯光柵作為測(cè)量基準(zhǔn):在平整反光表面上刻有高度為0.2 ?m的反光線 ,其前方是掃描掩膜,其柵距與光柵尺的柵距相同,是透射相位光柵 ,光波穿過(guò)掃描掩膜時(shí),將光波衍射為光強(qiáng)近似的三束光:1、0和-1 ,在被光柵尺衍射的光波中,在反射的衍射光中,光強(qiáng)的光束為 1和-1 ,這兩束光在掃描掩膜的相位光柵處再次相遇,再一次被衍射和干涉 ,也形成三束光,并以不同的角度離開(kāi)掃描掩膜 ,光電池將這些交變的光強(qiáng) ,轉(zhuǎn)化成電信號(hào) ,當(dāng)光柵與掃描掩膜之間有相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí),衍射的光波前產(chǎn)生相位移:移過(guò)一個(gè)柵距時(shí)將正一級(jí)衍射光的波前在正方向上偏移一個(gè)光波波長(zhǎng),而負(fù)一級(jí)衍射的光波前在負(fù)方向上偏移一個(gè)光波波長(zhǎng) ,由于這兩束光離開(kāi)相位光柵時(shí)相互發(fā)生干涉,這兩束光彼此相對(duì)位移兩個(gè)光波波長(zhǎng) ,也就是說(shuō),相對(duì)運(yùn)動(dòng)一個(gè)柵距可以得到兩個(gè)信號(hào)周期 ,干涉光柵尺的柵距較小,例如8 ?m、4?m甚至更小 ,其掃描信號(hào)基本沒(méi)有高次諧波,能進(jìn)行高倍頻細(xì)分 ,因此,這些光柵尺特別適用于小測(cè)量步距和***應(yīng)用 ,LF系列封閉式直線光柵尺采用干涉掃描原理
它是***終檢測(cè)中確定的并標(biāo)注在檢定記錄圖中
庫(kù)存型號(hào)列表:
光柵尺 689697-01 LC?185?140?5,0
光柵尺 689697-02 LC?185?240?5,0
光柵尺 689697-03 LC?185?340?5,0
光柵尺 689697-04 LC?185?440?5,0
光柵尺 689697-05 LC?185?540?5,0
光柵尺 689697-06 LC?185?640?5,0
光柵尺 689697-07 LC?185?740?5,0
光柵尺 689697-08 LC?185?840?5,0
光柵尺 689697-09 LC?185?940?5,0
光柵尺 689697-10 LC?185?1040?5,0
光柵尺 689697-11 LC?185?1140?5,0
光柵尺 689697-12 LC?185?1240?5,0
光柵尺 689697-13 LC?185?1340?5,0
光柵尺 689697-14 LC?185?1440?5,0
光柵尺 689697-15 LC?185?1540?5,0
光柵尺 689697-16 LC?185?1640?5,0
光柵尺 689697-17 LC?185?1740?5,0
光柵尺 689697-18 LC?185?1840?5,0
光柵尺 689697-19 LC?185?2040?5,0
光柵尺 689697-20 LC?185?2240?5,0
光柵尺 689697-21 LC?185?2440?5,0
光柵尺 689697-22 LC?185?2640?5,0
光柵尺 689697-23 LC?185?2840?5,0
光柵尺 689697-24 LC?185?3040?5,0
編碼器 1065932-11 ECN 413 2048
編碼器 1109254-05 ROC 413 2048
編碼器 1109258-04 EQN 425 512
編碼器 1131753-01 ROQ 425 512
編碼器 1131753-07 ROQ 425 512
編碼器 1132407-03 EQN 425 512
編碼器 1169566-52 ERN 1331 1024
編碼器 358699-01 RON 285C 18000
編碼器 360737-22 ERO 1480 512
編碼器 376836-20 ROD 436 1024
編碼器 376837-6X ROD 436 2048
編碼器 376846-LP ROD 426 2000
編碼器 376866-37 ROD 466 5000
編碼器 376880-63 ROD 480 2048
編碼器 376886-0B ROD 486 5000
編碼器 376886-31 ROD 486 2048
編碼器 376886-3K ROD 486 2500
編碼器 376886-A6 ROD 486 2048
編碼器 385420-0X ERN 420 4096
編碼器 385438-30 ERN 430 1024
編碼器 385438-31 ERN 431 1024
編碼器 385460-31 ERN 460 500
編碼器 385480-0A ERN 480 1024
編碼器 385480-31 ERN 480 1024
編碼器 385480-41 ERN 480 2048
編碼器 385480-48 ERN 480 1024
編碼器 534904-05 ROD 1080 1000
編碼器 534913-18 ERN 1080 2500
編碼器 586657-03 EQN 425 512
編碼器 589612-2B ERN 130 2048
編碼器 635066-56 ERN 1381 2048
編碼器 667590-01 RCN 8380 32768 ? 100mm
編碼器 667596-01 RCN 8380 32768 ? 60mm
編碼器 667785-01 RCN 2380 16384
編碼器 667786-01 RCN 2580 16384
編碼器 667831-01 RCN 5380 16384
編碼器 749144-01 ERN 1387 2048
編碼器 749144-59 ERN 1387 2048
編碼器 749147-04 ERN 1387 2048
編碼器 751363-01 RCN 2390F 16384
編碼器 751365-01 RCN 2390M 16384
編碼器 768295-11 ECN 1313 512
編碼器 810800-02 ECN 113 2048
編碼器 810800-24 ECN 113 2048
編碼器 810800-50 ECN 113 2048
編碼器 810800-53 ECN 113 2048
編碼器 810800-61 ECN 113 2048
編碼器 823901-52 EQN 1325 2048
編碼器 827039-06 EQN 1325 2048
編碼器 827039-12 EQN 1325 2048
讀數(shù)頭 1144048-02 AK ERM 2480 1024
讀數(shù)頭 1144048-04 AK ERM 2480 2048
讀數(shù)頭 1144048-07 AK ERM 2480 2048
讀數(shù)頭 1144048-13 AK ERM 2480 900
讀數(shù)頭 1144048-15 AK ERM 2480 2048
讀數(shù)頭 1144048-55 AK ERM 2480 1024
讀數(shù)頭 1144048-61 AK ERM 2480 1400
讀數(shù)頭 1144048-71 AK ERM 2480 2720
讀數(shù)頭 315420-03 AE LB 382
讀數(shù)頭 315420-04 AE LB 382C
讀數(shù)頭 393000-99 AK ERM 280 2176
讀數(shù)頭 594878-01 AE LS 187C
讀數(shù)頭 594878-02 AE LS 187
讀數(shù)頭 658492-01 AE LS 186C
光柵尺 689681-16 LC 485 820 5.0
光柵尺 689681-19 LC 485 1020 5,0
光柵尺 689696-04 LC 185 440 3,0
光柵尺 689697-01 LC 185 140 5,0
光柵尺 689697-02 LC 185 240 5,0
光柵尺 689697-03 LC 185 340 5,0
光柵尺 689697-04 LC 185 440 5,0
光柵尺 689697-05 LC 185 540 5,0
光柵尺 689697-06 LC 185 640 5,0
光柵尺 689697-07 LC 185 740 5,0
光柵尺 689697-08 LC 185 840 5,0
光柵尺 689697-09 LC 185 940 5,0
光柵尺 689697-10 LC 185 1040 5,0
光柵尺 689697-11 LC 185 1140 5,0
光柵尺 689697-12 LC 185 1240 5,0
光柵尺 689697-13 LC 185 1340 5,0
光柵尺 689697-14 LC 185 1440 5,0
光柵尺 689697-15 LC 185 1540 5,0
光柵尺 689697-16 LC 185 1640 5,0
光柵尺 689697-17 LC 185 1740 5,0
光柵尺 689697-18 LC 185 1840 5,0
光柵尺 689697-19 LC 185 2040 5,0
光柵尺 689697-20 LC 185 2240 5,0
光柵尺 689697-21 LC 185 2440 5,0
光柵尺 689697-22 LC 185 2640 5,0
光柵尺 689697-23 LC 185 2840 5,0
光柵尺 689697-24 LC 185 3040 5,0
光柵尺 760912-03 LC 195S 240 5,0
光柵尺 760933-01 LC 495F 70 5,0
濾芯 337147-01 Filterelement for DA300
濾芯 337148-01 Filterelement for DA300
濾芯 810415-01 VF-DA400
濾芯 810416-01 FF-DA400
濾芯 810421-01 AK-DA400
濾芯 894602-01 DA 400
長(zhǎng)度計(jì) 243602-06 MT 12
長(zhǎng)度計(jì) 331666-01 MT 1271
長(zhǎng)度計(jì) 331667-01 MT 2571
長(zhǎng)度計(jì) 363409-02 MT 2581
長(zhǎng)度計(jì) 375133-02 ST 3078
長(zhǎng)度計(jì) 375134-02 ST 3078
長(zhǎng)度計(jì) 376990-01 MT 1287
長(zhǎng)度計(jì) 383963-03 ST 1278
長(zhǎng)度計(jì) 383963-05 ST 1278
長(zhǎng)度計(jì) 383965-02 ST 1278
長(zhǎng)度計(jì) 383965-03 ST 1278
長(zhǎng)度計(jì) 383973-01 ST 1277
長(zhǎng)度計(jì) 383975-01 ST 1287
長(zhǎng)度計(jì) 383978-01 ST 1288
長(zhǎng)度計(jì) 511398-01 ST 3077
長(zhǎng)度計(jì) 511399-01 ST 3087
長(zhǎng)度計(jì) 511401-01 ST 1287