寧波洋馬17/20挖掘機橡膠履帶廠家直銷批發(fā)價格報價懸浮分子污染(AMC)4.1AMC的分類及控制要求情況AMC作為IC工廠所關(guān)心的問題于2年前先由日本人提出,近年來,IC生產(chǎn)園片直徑已達(dá)3mm,工藝加工尺寸(線寬)已小于.15m,在某些加工工序及工序間園片的傳送和存放環(huán)境中AMC已成為嚴(yán)重影響成品率的問題,已被清楚的認(rèn)識到,AMC的控制已由談?wù)撧D(zhuǎn)到需要實施。對于IC生產(chǎn),AMC分為D四類,即:A酸性物質(zhì),如Hcl等;B堿性物質(zhì),如NH3等;C沸點高于室溫能在光潔表面冷凝的物質(zhì),主要是碳?xì)浠衔?,某些工藝加工環(huán)境中的水蒸汽亦需要考慮;D摻雜物質(zhì),能為園片表面吸附或與表面相互反應(yīng)的物質(zhì),如砷、硼、磷等。產(chǎn)量,用衡器稱出投料量的質(zhì)量,記錄每次生產(chǎn)過程的周期時間,攪拌均勻的工藝條件下。計算單位時間內(nèi)攪拌出的物料質(zhì)量即為產(chǎn)量,檢測三次取其平均值。干粉攪拌機攪拌槳轉(zhuǎn)速,用轉(zhuǎn)速表測主軸的轉(zhuǎn)速。攪拌時間,用秒表記錄物料在混合室內(nèi)攪拌的時間。測溫裝置,分別記錄熱機,檢測產(chǎn)量過程中,冷機測溫裝置表的讀數(shù),與用溫度計直接擂入排出攪拌物料中測得的溫度之差。只有通過了相應(yīng)的檢查工作,才是確保膩子粉攪拌機的安全性,才能正常出售。