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FFU(Fan Filter Unit)是風(fēng)機和過濾器的組合，也可稱為“自帶風(fēng)機的過濾設(shè)備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風(fēng)機模塊，下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度的要求，過濾器可為不同等級的高效（HEPA）或超高效（ULPA）過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風(fēng)機模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力，還要克服整個循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力，從而維持設(shè)定的運行風(fēng)速。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計施工簡便，風(fēng)速調(diào)節(jié)靈活，潔凈區(qū)易于變更等特點，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。

FFU具有特點：
第一：靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，FFU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。
第二：可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：負壓通風(fēng)。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。
第四：縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因為風(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
第五：減少運行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護等特點。用在循環(huán)減少40%的運行成本。

FFU組合的關(guān)鍵性能參數(shù)：
模數(shù)尺寸（ceiling modular size）：安裝吊頂龍骨中心線的間距，FFU常用的標(biāo)準(zhǔn)模數(shù)尺寸為1200X600（4’X2’），1200X900（4’X3’），1200X1200（4’X4’）。
實際尺寸（actual size）：誠旺達的FFU過濾器的實際尺寸=模數(shù)尺寸-（龍骨斷面寬度-25mm），風(fēng)機模塊的實際尺寸比過濾器稍大4mm。比如說常用的吊頂龍骨端面寬度為55mm，模數(shù)尺寸為1200，900，600所對應(yīng)的FFU過濾器實際尺寸為1170，870，570，風(fēng)機模塊的實際尺寸為1174，874，574。
機外余壓（ESP）：在某一設(shè)定風(fēng)速下，風(fēng)機模塊的總靜壓（TSP）扣除HEPA/ULPA過濾器的阻力，即為機外余壓（ESP），單位是Pa。ESP是指FFU整機能克服潔凈室循環(huán)風(fēng)阻力的能力，無論是標(biāo)注FFU機外余壓或風(fēng)機模塊的總靜壓TSP，都必需指名送風(fēng)風(fēng)速或風(fēng)量，否則沒有意義。
輸入能耗（b power consumption）：FFU正常運轉(zhuǎn)時輸入電壓和輸入電流的乘積，單位是W。顯然，FFU在不同的運行工況點，即在不同的運行風(fēng)量和總靜壓時，輸入能耗不同。因此，如果不指明運行工況點，輸入能耗值沒有意義。
單體噪音（noise level）：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002，FFU正常運轉(zhuǎn)時在距離出風(fēng)面中心正下方1.2mm處的噪音值，單位是dB(A)。FFU在不同的運行工況點，即在不同的運行風(fēng)量和總靜壓時，噪音不同。因此，如果不指明運行工況點，噪音值沒有意義。
微振（micro vibration）：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002，FFU在最大運轉(zhuǎn)工況點時的振動幅度和振動速率，單位分別是mm和mm/s。
送風(fēng)均勻度（air unibity）：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002，FFU正常運轉(zhuǎn)時，在距離出風(fēng)面上方150mm（6”）的水平面上測量逐點的風(fēng)速，得出平均風(fēng)速值。平均風(fēng)速與最大風(fēng)速和最小風(fēng)速的偏差比即為送風(fēng)均勻度，單位為+/-%。標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002中要求FFU的任一點的送風(fēng)風(fēng)速與其平均風(fēng)速的偏差均應(yīng)在+/-20%以內(nèi)。
過濾器效率等級（filter grade）：依據(jù)歐洲標(biāo)準(zhǔn)EN1822，過濾器等級從H10-H14，U15-U17。或依據(jù)美國標(biāo)準(zhǔn)MIL-282（HEPA），對于0.3um的效率值；依據(jù)美國標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC007.1，對于0.12um的效率值。

FFU材質(zhì)采用進口環(huán)保覆鋁鋅板，永不生銹，耐腐蝕，輕巧堅固，箱體采用黃金分割比例點設(shè)計，美觀大方，超薄機身厚度僅為20cm，加上高效過濾器總厚度不超過29cm；重量僅為24kg，節(jié)約空間，方便施工安裝和日常維護，FFU風(fēng)機采用意大利進口防靜電多翼式渦輪節(jié)能風(fēng)機，超低噪音，風(fēng)壓擴散均勻，出風(fēng)面風(fēng)速均勻穩(wěn)定，功耗低運行成本低，工作壽命長達6萬小時以上，風(fēng)機控制采用三檔調(diào)速，電路均采用電器開關(guān)控制，控制安全平穩(wěn)；并預(yù)設(shè)集中控制功能。彈性、多元化配置除標(biāo)準(zhǔn)機型外，可根據(jù)客戶需求，制作不同規(guī)格的非標(biāo)產(chǎn)品。如：濾網(wǎng)種類、箱體材質(zhì)等變更。人性化設(shè)計機組附裝不銹鋼把手，使搬運及安裝更為方便快捷；

適用范圍廣：

適合用于從10.000級到10級的各種潔凈室，并可組裝成超凈生產(chǎn)線、潔凈工作臺、潔凈棚、無塵衣柜等。

FFU詳細技術(shù)參數(shù)