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　　測(cè)量顯微鏡是采用用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測(cè)試儀器。廣泛地適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。工作臺(tái)除作X、Y坐標(biāo)的移動(dòng)外，還可以作360度的旋轉(zhuǎn)，亦可以進(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測(cè)量；采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進(jìn)一步可連接CCD電視攝像頭，作工件的輪廓放大；亦可連接計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測(cè)量。

　　觀察顯微鏡針尖與樣品之間的作用力與距離有強(qiáng)烈的依賴關(guān)系，所以在掃描過程中利用反饋回路保持針尖與樣品之間的作用力恒定，即保持為懸臂的形變量不變，針尖就會(huì)隨樣品表面的起伏上下移動(dòng)，記錄針尖上下運(yùn)動(dòng)的軌跡即可得到樣品表面形貌的信息。這種工作模式被稱為“恒力”模式（Constant Force Mode），是使用廣泛的掃描方式。

　　AFM的圖像也可以使用“恒高”模式（Constant Height Mode）來獲得，也就是在X，Y掃描過程中，不使用反饋回路，保持針尖與樣品之間的距離恒定，通過測(cè)量微懸臂Z方向的形變量來成像。這種方式不使用反饋回路，可以采用更高的掃描速度，通常在觀察原子、分子像時(shí)用得比較多，而對(duì)于表面起伏比較大的樣品不適用。

　　觀察顯微鏡技術(shù)參數(shù)：

　　1、鏡筒：粗動(dòng)：調(diào)節(jié)范圍 90毫米，微動(dòng)：調(diào)節(jié)范圍2毫米，高（Z）測(cè)量：范圍1毫米，小讀數(shù)0.001毫米（比較測(cè)量），鏡筒：雙目鏡筒 俯角45度；

　　2、工作臺(tái)：左右（X軸）：移動(dòng)范圍25毫米，前后（Y軸）

　?。阂苿?dòng)范圍25毫米，分辨率：1微米，旋轉(zhuǎn)：360度；

　　3、照明系統(tǒng)：光源：透射照明，8V12W 藍(lán)、綠色濾光片，反射照明，8V12W 磨沙燈泡、綠色濾光片，斜 照 明，8V12W綠色濾光片，電源：AC220±22V 50/60Hz；

　　4、光學(xué)系統(tǒng)：目鏡：BWF 10X；物鏡：4X、工作距離17.5、焦距28.8，10X、工作距離11.6、焦距15.4，40X、工作距離0.66、焦距4.4；

　　5、X---Y軸測(cè)量范圍：50×13mm；

　　6、測(cè)微器分度值：0.01mm；

　　7、圓工作臺(tái)角度測(cè)量范圍：0°/360°；

　　8、儀器測(cè)量準(zhǔn)確度：儀器示值誤差±(5 L/15)；

　　9、放大倍數(shù) 25×/100×

　　觀察顯微鏡主要功能：

　　具體功能：

　　 自動(dòng)尋邊測(cè)量功能

　　可根據(jù)取點(diǎn)范圍，自動(dòng)識(shí)別線、圓、弧，具有強(qiáng)的去毛邊的功能，并大地提高線距、線夾角、圓半徑、弧半徑測(cè)量精度，避免人工誤差。

　　 幾何測(cè)量功能

　　線、圓、矩形、多邊形、角度等測(cè)量工具，對(duì)圖像上兩點(diǎn)距離、線段長(zhǎng)度、線距、圓半徑直徑、面積、角度、矩形、折線、多邊形、點(diǎn)線、平行線距的等幾何參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。

　　 視頻處理功能

　　視頻的實(shí)時(shí)播放，暫停，停止功能；

　　自動(dòng)白平衡，自動(dòng)曝光功能；

　　視頻參數(shù)設(shè)置功能（RGB設(shè)置，gamma調(diào)節(jié)，曝光設(shè)置，偏移量設(shè)置等等）；

　　視頻縮放顯示及視頻大小控制功能；

　　視頻上下、左右反轉(zhuǎn)功能等；

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