產(chǎn)品參數(shù) | |||
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品牌 | OSAKA大阪真空 | ||
吸氣口法蘭 | VG100 CF100 ISO-R100 | ||
極限壓力 | 1×10-6Pa | ||
啟動時間 | 2-2.5min | ||
停止時間 | 5-6.5min | ||
安裝角度 | 任意 | ||
可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 |
OSAKA大阪真空
全方位安裝復(fù)合分子泵 TG-F系列
使用了脂潤滑陶瓷軸承,實(shí)現(xiàn)了小型、輕量、低成本。 耐外部震動,耐沖擊能力強(qiáng),可以把分子泵搭載到可搬式設(shè)備或設(shè)備的可動部,拓展了渦輪分子泵的新應(yīng)用。提供排氣速度50L/s ~ 2400L/s的產(chǎn)品。
產(chǎn)品型號:
TG50F、TG60F、TG70F、TG220F、TG240F、TG350F
TG450F、TG800F、TG1100F、TG1400F、TG2400F
產(chǎn)品特點(diǎn):
全方位安裝
?輕巧設(shè)計(jì)
?節(jié)能
?迅速啟動
?使用破控功能可迅速停止
?耐大氣沖擊能力強(qiáng)
?多種通信模式
?符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE
產(chǎn)品應(yīng)用:
半導(dǎo)體制造
?電子槍排氣,離子源排氣
?FPD制造
?表面處理,表面改質(zhì)
?各種電子部件的制造
?分析,試驗(yàn)裝置
?管球制造,光學(xué)部件制造
?加速器,放射線設(shè)施,核聚變研究
?熱處理
?研究開發(fā)
※排放腐蝕性氣體時,請選擇耐腐蝕性的TG-M,TG系列
技術(shù)參數(shù):
吸氣口法蘭 | VG100 CF100 ISO-R100 | |
排氣速度 | VG/ISO-R?CF N2?(L/s) | 350/330 |
VG/ISO-R?CF N2(附加金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s) | 330/310 | |
VG/ISO-R?CF H2?(L/s) | 210 | |
zui大壓縮比 | N2 | 1×108 |
H2 | 2×103 | |
極限壓力 | Pa/Torr | <1×10-6/<7.5×10-9 |
zui大氣體流量※1 | N2 (sccm) | 500 |
啟動時間 | (min)? | 2-2.5 |
停止時間 | (min) | 5-6.5 |
允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 260/2 |
推薦輔助泵 | (L/min) | ≧80 |
安裝角度 | 任意 | |
重量 | VG?ISO-R/CF(kg) | 4.2/6 |
控制器型式 | TC353 |
輸入電壓(ACV) | 100-110 (±10) / 200-230 (±10) |
輸入頻率(Hz) | 50/60 |
相數(shù) | 単相 |
所需zui大電力(VA) | 610 |
輸出頻率(Hz) | 750 |
重量(kg) | 2.7 |
標(biāo)準(zhǔn)附屬品 | ?輸入接頭 1個 ?遠(yuǎn)控接插頭 1個 ?通信接插頭1個 ?使用說明書 (機(jī)身,通信)各1套 |