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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
OSAKA大阪真空全方位安裝復(fù)合分子泵TG-F系列
OSAKA大阪真空全方位安裝復(fù)合分子泵TG-F系列
產(chǎn)品價(jià)格:¥22.22
上架日期:2024-03-21 14:33:02
產(chǎn)地:上海市閔行區(qū)
發(fā)貨地:上海市閔行區(qū)
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1
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詳細(xì)說(shuō)明
    產(chǎn)品參數(shù)
    品牌OSAKA大阪真空
    吸氣口法蘭VG100 CF100 ISO-R100
    極限壓力1×10-6Pa
    啟動(dòng)時(shí)間2-2.5min
    停止時(shí)間5-6.5min
    安裝角度任意
    可售賣(mài)地北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆


    OSAKA大阪真空

    全方位安裝復(fù)合分子泵 TG-F系列

    使用了脂潤(rùn)滑陶瓷軸承,實(shí)現(xiàn)了小型、輕量、低成本。 耐外部震動(dòng),耐沖擊能力強(qiáng),可以把分子泵搭載到可搬式設(shè)備或設(shè)備的可動(dòng)部,拓展了渦輪分子泵的新應(yīng)用。提供排氣速度50L/s ~ 2400L/s的產(chǎn)品。

    產(chǎn)品型號(hào):

    TG50F、TG60F、TG70F、TG220F、TG240F、TG350F

    TG450F、TG800F、TG1100F、TG1400F、TG2400F

    產(chǎn)品特點(diǎn):

    全方位安裝
    ?輕巧設(shè)計(jì)
    ?節(jié)能
    ?迅速啟動(dòng)

    ?使用破控功能可迅速停止

    ?耐大氣沖擊能力強(qiáng)

    ?多種通信模式

    ?符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE

    產(chǎn)品應(yīng)用:

    半導(dǎo)體制造
    ?電子槍排氣,離子源排氣
    ?FPD制造
    ?表面處理,表面改質(zhì)
    ?各種電子部件的制造
    ?分析,試驗(yàn)裝置
    ?管球制造,光學(xué)部件制造
    ?加速器,放射線(xiàn)設(shè)施,核聚變研究
    ?熱處理
    ?研究開(kāi)發(fā)

    ※排放腐蝕性氣體時(shí),請(qǐng)選擇耐腐蝕性的TG-M,TG系列


    技術(shù)參數(shù):

    吸氣口法蘭VG100
    CF100
    ISO-R100
    排氣速度VG/ISO-R?CF N2?(L/s)350/330
    VG/ISO-R?CF N2(附加金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s)330/310
    VG/ISO-R?CF H2?(L/s)210
    zui大壓縮比N21×108
    H22×103
    極限壓力Pa/Torr<1×10-6/<7.5×10-9
    zui大氣體流量※1N2 (sccm)500
    啟動(dòng)時(shí)間(min)?2-2.5
    停止時(shí)間(min)5-6.5
    允許輔助壓力(Pa/Torr)260/2
    推薦輔助泵(L/min)≧80
    安裝角度任意
    重量VG?ISO-R/CF(kg)4.2/6
    • ※1:輔助泵的容量是160L/min情況下的zui大容許流量
    • [ 使用環(huán)境溫度 ]
    • 極限壓力保證環(huán)境溫度是10~23℃。另外,容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10~32℃,水冷情況下是10~40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時(shí)容許冷卻水溫是10~35℃。

    • 控制器型式TC353
      輸入電壓(ACV)100-110 (±10) / 200-230 (±10)
      輸入頻率(Hz)50/60
      相數(shù)単相
      所需zui大電力(VA)610
      輸出頻率(Hz)750
      重量(kg)2.7
      標(biāo)準(zhǔn)附屬品?輸入接頭 1個(gè)
      ?遠(yuǎn)控接插頭 1個(gè)
      ?通信接插頭1個(gè)
      ?使用說(shuō)明書(shū) (機(jī)身,通信)各1套



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