| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否進口 | 否 | ||
| 外形尺寸 | 630610500mm | ||
| 重量 | 40kg | ||
| 型號 | NS200 | ||
| 單次掃描長度 | 55mm | ||
| 最大樣品厚度 | 50mm | ||
| 載物臺可裝載最大晶圓尺寸 | 200mm（8吋） | ||
| 最大掃描采樣點數(shù) | 120000 | ||
| 探針傳感器 | 超低慣量，LVDC傳感器 | ||
| 測量力 | 1-50mg可調(diào) | ||
| XY移動 | 150mm×150mm | ||
| 真空吸盤 | 標(biāo)準(zhǔn)配置6英寸真空吸盤 | ||
| 相對濕度 | 濕度 （無凝結(jié)）30-40％ RH | ||
| 品牌 | 中圖儀器 CHOTEST | ||
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