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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
OSAKA大阪真空磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TGkine2200M-R
OSAKA大阪真空磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TGkine2200M-R
產(chǎn)品價(jià)格:¥22.22
上架日期:2024-11-07 18:19:31
產(chǎn)地:上海市閔行區(qū)
發(fā)貨地:上海市閔行區(qū)
供應(yīng)數(shù)量:不限
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詳細(xì)說(shuō)明
    產(chǎn)品參數(shù)
    品牌OSAKA
    吸氣口法蘭ISO-B250 / VG250
    排氣口法蘭KF40 / KF50
    排氣速度N2 (L/s)2200
    起動(dòng)時(shí)間≦10min
    排氣速度H2 (L/s)1800
    zui大壓縮比N22×108
    zui大壓縮比H23×103
    安裝方向任意
    可售賣(mài)地北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆
    型號(hào)TGkine2200M-R

    OSAKA大阪真空

    TGkine-R系列磁懸浮復(fù)合分子泵

    具備了磁懸浮復(fù)合分子泵(控制器?電源一體型)TGkine-B系列穩(wěn)定的產(chǎn)品性能及廣受好評(píng)的特性,本系列更搭載了將工作數(shù)據(jù)、軸承使用次數(shù)等記憶在泵本體中的存儲(chǔ)功能,即使在維修期間更換控制器,也能夠傳輸數(shù)據(jù)。

    產(chǎn)品特點(diǎn):

    省電設(shè)計(jì)??????
    在真空泵本體中,可存儲(chǔ)設(shè)置參數(shù),運(yùn)轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)及異常歷史等。?
     
    ※即使在維護(hù)階段更換控制器,也可實(shí)現(xiàn)全數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)移。??????
    支持多種通信接口規(guī)格 (兼容EtherCAT通信協(xié)定)??????
    適用于國(guó)際規(guī)格 CE/NRTL/SEMI-S2
    產(chǎn)品應(yīng)用:半導(dǎo)體制造設(shè)備
    FPD制造設(shè)備
    太陽(yáng)能電池制造設(shè)備
    玻璃/鏡片等光學(xué)部件加工
    鍍膜工藝
    加速器/宇宙環(huán)境模擬器
    技術(shù)參數(shù):


    型號(hào)※1TGkine2200M-R
    吸氣口法蘭ISO-B250 / VG250
    排氣口法蘭※2KF40 / KF50
    排氣速度N2?(L/s)2200
    N2

    (付帶金屬保護(hù)網(wǎng))?(L/s)
    2100
    H2?(L/s)1800
    zui大壓縮比N2>2×108
    H23×103
    zui大氣體流量※3、※4N2?(sccm)7000
    Ar?(sccm)3000
    起動(dòng)時(shí)間(min)≦10
    停止時(shí)間(min)≦10
    到達(dá)壓力※5(Pa)<2×10-7
    (Torr)<1.5×10-9
    zui大排氣口壓力※6(Pa)220
    (Torr)1.65
    推薦前級(jí)泵(L/min)≧2000
    安裝方向任意
    質(zhì)量(kg)59

    ?



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