由于離子質(zhì)量比電子質(zhì)量大得多〔例如A:離子質(zhì)量是電子質(zhì)量的7.2萬倍),所
以一旦離子加速到高速時,離子束比電子束具有更大的撞擊能量日本HD高剛性電子束加工諧波齒輪CSF-58-100-2A-GR。其次,電子束加工主要是靠熱效應(yīng)進(jìn)行加工,而離子束加工主要是通過離子撞擊工件材料時起的破壞、分離或直接將離子注入加工表面等機(jī)械作用進(jìn)行加工的加工方法。
離子束加工裝置與電子束加工裝置類似日本HD高剛性電子束加工諧波齒輪CSF-58-100-2A-GR,所不同的是用離子發(fā)生裝置〔又叫離子槍)取代電子槍。離子束產(chǎn)生的基本原理是使氣態(tài)原子電離,其具體方法是使中性原子在高頻放電、電弧放電等離子體放電或電子轟擊下,由氣態(tài)原子電離為等離子體日本HD高剛性電子束加工諧波齒輪CSF-58-100-2A-GR〔即正離子和負(fù)電子相等的混合體),然后用一個相對于等離子體為負(fù)電位的電極就可從等離子體中吸出正離子束。