離子束加工的特點(diǎn)
C1)易于精確控制，工藝能力廣泛。是當(dāng)前最有前途的精密、微細(xì)加工技術(shù)。
C2)離子束是利用機(jī)械碰撞能量加工，harmonic精密微細(xì)加工諧波減速器CSF-58-120-2UH既適用于金屬加工，也是用于非金屬加工。
C3)加工的表面質(zhì)量好。由于加工過程是靠碰撞去除或注入材料，而且此過程是在極微小面積上進(jìn)行的，所以產(chǎn)生的熱量很小。
C4)易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。
〔5)設(shè)備費(fèi)用高，harmonic精密微細(xì)加工諧波減速器CSF-58-120-2UH成本高，效率低。
離子束注入加工的優(yōu)點(diǎn)有:
c1>注入元素?cái)?shù)量及注入深度可以通過調(diào)制離子能量harmonic精密微細(xì)加工諧波減速器CSF-58-120-2UH、束流強(qiáng)度、作用時(shí)間長(zhǎng)短等參數(shù)進(jìn)行精確控制。
C2)注入元素的選配不受限制，注入元素的數(shù)量也不受材料溶解度的限制。
}3>注入工件表面元素的均勻性好、純度高，故集成電路的成品率也高。
