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近日，由中科院長春光機(jī)所承擔(dān)的重大科研裝備研制項(xiàng)目”大型高精度衍射光柵刻劃的研制”順利通過驗(yàn)收這標(biāo)志著我國大面積高精度光柵制造中的相關(guān)技術(shù)已達(dá)到水平，結(jié)束了我國在高精度大尺寸光柵制造領(lǐng)域受制于人的局面。衍射光柵（以下簡稱光柵）是一種具有納米精度周期性微結(jié)構(gòu)的精密光學(xué)元件。它作為核心色散單元器件，在光譜學(xué)、天文學(xué)、激光器、光通訊等諸多領(lǐng)域中具有重要應(yīng)用價(jià)值。光柵面積大可高集光率和分辨本領(lǐng)，精度高可更好的信噪比，但同時(shí)將光柵”做大”和”做精”屬于性難題。我國戰(zhàn)略高技術(shù)領(lǐng)域所需要的高精度大尺寸光柵受到國外嚴(yán)格。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，大面積高精度中階梯光柵已經(jīng)成為制約我國相關(guān)領(lǐng)域技術(shù)發(fā)展的”短板”，此類光柵研制也是各光柵強(qiáng)國之間展開競爭的焦點(diǎn)。2008年，在科學(xué)院和共同支持下，長春光機(jī)所開始”大型高精度衍射光柵刻劃”的研制工作，目標(biāo)為研制一臺刻劃面積屬之、技術(shù)水平達(dá)的大型高精度衍射光柵刻劃機(jī)，突破精密機(jī)械加工、精密光學(xué)加工、精密檢測、高精度微位移控制等一系列關(guān)鍵技術(shù)，并研制出面積達(dá)400毫米×500毫米的中階梯光柵。
