雙級(jí)油式旋片真空泵/替代愛(ài)德華E2M80、愛(ài)發(fā)科VDN90真空泵
愛(ài)德華E2M80雙級(jí)油式旋片真空泵是理想中的中、高真空獲得設(shè)備，用于抽除普通空氣或惰性氣體和少量可凝性蒸汽。
主要應(yīng)用于真空鍍膜、微電子、光電半導(dǎo)體、封裝測(cè)試、真空含浸、等離子清洗行業(yè)。
由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片，將定子分隔成兩個(gè)工作腔（高、低級(jí)工作腔），旋轉(zhuǎn)時(shí)，雙級(jí)旋片式真空泵靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)，使得高級(jí)工作腔容積周期性擴(kuò)大而吸氣，低級(jí)工作腔容積周期性縮小而壓縮氣體，借助氣體和油的壓力推開排氣閥排氣，從而獲得真空。當(dāng)吸入壓力較高時(shí)（例如從大氣壓開始吸氣），氣體在高級(jí)腔被壓縮，壓力急增，則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥排出，另一部分氣體經(jīng)壓縮后通過(guò)中壁內(nèi)的級(jí)間通道進(jìn)入低級(jí)腔，再次壓縮后從低級(jí)排氣閥排出，此時(shí)高低級(jí)腔同時(shí)排氣；當(dāng)吸入壓強(qiáng)較低時(shí)（例如泵工作一段時(shí)間之后），氣體由吸氣口進(jìn)入高級(jí)腔，氣體在高級(jí)腔內(nèi)壓縮所產(chǎn)生的壓力不足以推開輔助排氣閥而直接通過(guò)級(jí)間通道進(jìn)入低級(jí)工作腔，再次壓縮后從低級(jí)排氣閥排出。
抽 速：每小時(shí)80立方米；
真空 度：0.004mbar；
極限真空度：0.0004mbar；
功 率：2.2kw；
進(jìn)氣口徑：ISO40；
排氣口徑：NW25；
轉(zhuǎn)速：1450rpm
電 壓：三相380V；
體積（長(zhǎng)寬高）：870*266*428mm；
重 量：125kg；
噪 音：70dB；
油 量：5L
產(chǎn)品關(guān)鍵詞：雙級(jí)油式旋片真空泵、愛(ài)德華E2M80真空泵、高真空度真空泵
