5225型Aerober離子發(fā)生器是一款棒狀離子發(fā)生器，專門設計用于超凈化工藝設備，如半導體。
單晶硅電極在全球范圍內(nèi)具有無與倫比的采用記錄，避免了由于超低顆粒特性和電極材料導致的金屬污染風險
采用脈沖直流法的廣泛的靜電消除能力
全數(shù)字電路控制，更穩(wěn)定的離子生成和長離子平衡
通過安裝5200-SR外部傳感器附近的中和目標（可選），而不是離子發(fā)生器條體，當在中和目標的反饋控制可能的附近的離子平衡（5200-SR未連接，電離器棒體內(nèi)置傳感器是離子平衡自動調(diào)整）
設置半導體前端EFEM對應的長度條
各種參數(shù)如離子發(fā)生輸出，離子發(fā)生時間，報警閾值等可以設置在一個很寬的范圍內(nèi)，從而實現(xiàn)靈活的對應，如長距離應用和弱氣流環(huán)境
只需輸入?yún)?shù)的數(shù)值即可獲得高重復性，并且可以在短時間內(nèi)完成設置
除了簡單的IO報警外，還可以通過免費的DLL進行實時監(jiān)控，有助于掌握工藝設備的狀態(tài)
尺寸高度53mm×深度31mm×長度569mm（-22），721mm（-28），907mm（-36），1128mm（-44），1412mm（-56），1636mm（-64），1918毫米（-76）和2144毫米（-84）
重量 - 22：1.02公斤/0.17公斤/ 30厘米每增加長度
外部ABS樹脂
