4635型四方桿是一款高清潔離子發(fā)生器,進一步改進了傳統(tǒng)型號4630/4632,并提高了靜電消除性能和易用性。 適用于有限空間和氣流環(huán)境下的靜電消除,如光罩。
采用原有IsoStat方法進行離子平衡自動調(diào)整。 無需調(diào)整工作
電源對應于24 V DC和24 V AC
由于它是單晶硅電極,因此對于半導體器件來說它非常干凈和安全
最小安裝距離為7.6厘米,無緊湊尺寸布局布局
新設計的吹掃氣流路徑實現(xiàn)長距離和高速電氣去除
離子產(chǎn)生法電暈放電型穩(wěn)態(tài)直流法,電極單晶硅(可交換),清潔度ISO 1級(24 V DC)ISO 2級(24 V AC),相應的吹掃氣體清潔干燥的空氣和N 2
空氣連接4毫米孔管道,空氣流量?25 LPM,輸入電壓24 V AC +/- 5%,50/60 hz,0.1 A typ,24 V DC +/- 5%0.025 A typ
靜電消除時間<15秒,15厘米距離空氣吹掃,30厘米距離(標準墨盒),15 LPM空氣吹掃<6秒,30厘米距離,(噴氣十字通道墨盒)
離子平衡+/- 20 v 15厘米距離,可連接的編號14 - 1535使用變壓器時最多可連接4個單元
使用4030控制器時最多可裝15個單位·
尺寸高度33毫米x寬度33毫米x長度91毫米,除空氣連接外,重量108克