深圳市玥祥隆科技有限公司生產(chǎn)的硅溶膠拋光液產(chǎn)品特點如下:
1.分散性好、不結(jié)晶 。2.粒徑分布廣泛:5-100nm。3.高純度(Cu2+含量小于50 ppb),有效減小對電子類產(chǎn)品的沾污。
4.經(jīng)特殊工藝合成的化學機械拋光液,納米顆粒呈球形,單分散,大小均勻,粒徑分布窄,可獲得高質(zhì)量的拋光精度。5.適合與各種拋光墊、合成材料配合拋光使用。
6.PH、粒徑、穩(wěn)定離子等可以根據(jù)客戶定制(10-150 nm)
應(yīng)用領(lǐng)域
硅片、硬盤基片、二氧化硅、藍寶石、精密光學器件等的拋光。
拋光過程中具有:
1.高拋光速率,利用大粒徑的膠體二氧化硅粒子達到高速拋光的目的。(可以生產(chǎn)150 nm)。
2.高平坦度加工,本品拋光是利用SiO2的膠體粒子,不會對加工件造成物理損傷,達到高平坦化加工。
拋光過程后具有:
1.精度可以達到埃級
2.劃傷和挖傷可以達到0/0
拋光液物性表
主要成分: 外觀: 密度: pH值:
SiO2 白色液體 1.15±0.05 9.8±0.5
拋光溫度: 稀釋率<1: 拋光壓力:
10~38℃ 1~10 150~250g/cm&sup2
使用方法:
1.可根據(jù)拋光操作條件用去離子水進行5-20倍稀釋。
2.稀釋后,粗拋時調(diào)節(jié)PH至11左右,精拋時調(diào)節(jié)PH至9.5左右。
3.循環(huán)拋光可以用原液。
儲存方法:
1.貯存時應(yīng)避免曝曬,貯存溫度為5-35℃
2.低于0℃以上儲存,防止結(jié)冰,在零度以下因產(chǎn)生不可再分散結(jié)塊而失效。
3.避免敞口長期與空氣接觸。