安徽粗糙度輪廓儀的測(cè)量原理
粗糙度輪廓儀的接觸式，即采用觸針?lè)?/span>。觸針?lè)ㄓ址Q針描法，它是將一個(gè)很尖的觸針(半徑可以做到微米量級(jí)的金剛石針尖)垂直安置在被測(cè)表面上作橫向移磯觸針將隨著被測(cè)表面輪廓形狀作垂直起伏運(yùn)魂將這種微小位移通過(guò)電路轉(zhuǎn)換成電信號(hào)并加以放大和運(yùn)算處理，即可得到工作表面粗糙度參數(shù)值，主要分為電感式壓電式感應(yīng)式等幾種。這種儀器穩(wěn)定性好，示數(shù)客觀可靠，使用方便等優(yōu)點(diǎn)，其垂直分辨力可達(dá)到幾納米。
測(cè)量時(shí)，工件裝夾在工作臺(tái)的夾具上，對(duì)于 XT-MMD-100B 系列輪廓儀其測(cè)頭、數(shù)字光柵傳感器以及光柵位移傳感器動(dòng)尺隨氣浮導(dǎo)軌沿圖中所示的方向（即 X 軸正方向）運(yùn)動(dòng)；整個(gè)運(yùn)動(dòng)過(guò)程以氣浮導(dǎo)軌作為測(cè)量基準(zhǔn)，保證整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的精度。數(shù)字光柵傳感器計(jì)量 Y 軸方向（即工件徑向）變化的位移值，光柵位移傳感器計(jì)量 X 軸方向（即工件軸向）的運(yùn)動(dòng)位移量，從而得出工件輪廓在 XY 坐標(biāo)系中的坐標(biāo)值。測(cè)量軟件將所得 X、Y 反映的位移值經(jīng)采集存檔，進(jìn)而利用軟件的數(shù)據(jù)處理功能處理所得數(shù)據(jù)，得出各種所需測(cè)量項(xiàng)目結(jié)果。
