產品描述
實現(xiàn)非接觸，高速和高精度測量
多用途型， 測量范圍從1mm - 60mm。
高測量精度，在全測量范圍內達±3um。在窄測量范圍內達±(1.5+0.5ΔD)um高測量精度。
高重復精度達±0.36um。
技術參數
測量范圍： 1—60mm
分辨率： 0.00005一0.1mm可選
20℃時的直線度*： 寬范圍：±3.0um
窄范圍：±(1.5+0.5ΔD)um
重復精度(±2σ)： ±0.36um
定位誤差**： ±4um
測量區(qū)域： 20x60mm
激光波長： 650nm，可見光
掃描速率： 3200 scans/s
激光掃描速度： 452m/s
激光適用標準： IEC，F(xiàn)DA (544-538)，JIS (544-537)
*在測量區(qū)域中心
**在測量區(qū)域中由于工件定位的變化造成可能的測量錯誤
