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半導(dǎo)體真空設(shè)備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質(zhì)量流量控制器 

• 可用量程：0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請(qǐng)參見零件編號(hào)標(biāo)簽）
• 可調(diào)比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
• 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 可重復(fù)性：0.2%滿量程
• 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
• 氣動(dòng)閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（值，氦氣）
• 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間

工作條件

• 兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

半導(dǎo)體真空設(shè)備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質(zhì)量流量控制器 MCV系列包裝清單：

• MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）
• NIST可溯源校準(zhǔn)證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購(gòu)）

• 過程端口接頭和過濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
• BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
• Flow Vision軟件