上海反應(yīng)釜設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT反應(yīng)釜氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器性能
- 可用量程:0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,參見零件編號標(biāo)簽)
- 可調(diào)比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)
- 標(biāo)準(zhǔn)精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程)
- 高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程)
- 可重復(fù)性:0.2%滿量程
- 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時間常數(shù):50-100ms(若有PID調(diào)節(jié)功能,可縮短至25ms)
- 無需預(yù)熱時間