真空水平多關(guān)節(jié)型5軸潔凈機(jī)械手臂
真空水平多關(guān)節(jié)型5軸潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)：
5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂GTVCR5000系列
實(shí)現(xiàn)了下降價(jià)格，但是也可以維持以前的GTVHR5000系統(tǒng)的機(jī)能，功能
能夠在真空環(huán)境下對(duì)應(yīng)并排擺放的腔室工作臺(tái)布局，能夠靈活地適應(yīng)不同類型設(shè)備的多種布局
通過(guò)優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸，有利于減小真空腔室的內(nèi)部容積
非常適合inline設(shè)備
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)：280mm, 330mm
手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置
真空密封：磁流體密封裝置以及波紋管
提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5μm級(jí)過(guò)濾器
雙手指機(jī)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間
配備動(dòng)作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式，利用O型膠圈的摩擦力來(lái)保持位置
真空水平多關(guān)節(jié)型5軸潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣：溫度 15°C-40°C
工藝室溫度 450°C
手臂 單臂
到達(dá)距離 635mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn))
升降軸行程 60mm
可搬運(yùn)質(zhì)量 4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))
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http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/gtvcr5330.htm
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