美國ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器山西總經(jīng)銷 ALICAT質(zhì)量流量控制器說明書調(diào)試安裝性能
- 可用量程:0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm(參見零件編號標簽)
- 可調(diào)比:200:1(1/20和50 slpm)或100:1(100 sccm)
- 校準精度(NIST可溯源):±(1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程)
- 可重復性:0.5%滿量程
- 標準控制器響應時間常數(shù):100ms(可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié))
- 預熱時間:70ms,達到完整精度