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1、美國MKS控制器產(chǎn)品介紹
使用DELTA?流量比控制器(FRC)，優(yōu)化過程性能變得更加容易。DELTA?流量比控制器(FRC)廣泛用于各種分流應(yīng)用，例如蝕刻、剝離和PECVD，使用戶能夠?qū)怏w或氣體混合物分配到工藝室的不同區(qū)域。DELTA?II流量比例控制器以用戶的比例分配和控制混合工藝氣體流向工藝室內(nèi)的多個腔室或區(qū)域，從而最大限度地提高工藝均勻性和可重復(fù)性。它可用于EtherCAT®或DeviceNet?通信。

2、美國MKS控制器產(chǎn)品特征
分配和控制流向兩個腔室或區(qū)域的工藝氣體
用于在運(yùn)行期間監(jiān)控設(shè)備的嵌入式以太網(wǎng)
模擬、EtherCAT®或DeviceNet?通信
更寬的動態(tài)控制范圍，可實(shí)現(xiàn)低至5%滿量程流量的比率控制
獲得的控制算法可實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)比設(shè)定點(diǎn)
使用標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)絡(luò)瀏覽器-無需特殊軟件
3、美國MKS控制器產(chǎn)品優(yōu)勢
DELTA II具有更寬的動態(tài)比率控制范圍，更能適應(yīng)不同的刀具和工藝條件。MKS開發(fā)了一種獨(dú)特的正在申請的比率控制算法，使比率和流量響應(yīng)時間小于兩(2)秒。這種控制算法還支持20比1的比率控制范圍，是其行業(yè)領(lǐng)先前身的兩倍多。DELTA II的診斷功能允許用戶在現(xiàn)場檢查DELTA的性能，通過減少“未發(fā)現(xiàn)問題”設(shè)備的移除來降低成本。此功能通過通過設(shè)備的以太網(wǎng)端口訪問的Web瀏覽器實(shí)用程序啟用。該實(shí)用程序使用標(biāo)準(zhǔn)的網(wǎng)絡(luò)瀏覽器——不需要特殊軟件。訪問時，可通過設(shè)備高亮LED顯示屏訪問IP地址。

4、美國MKS控制器產(chǎn)品信息
DELTA II廣泛用于各種分流應(yīng)用，如蝕刻、剝離和CVD，使用戶能夠?qū)怏w或氣體混合物分配到工藝室中的兩個不同區(qū)域。向DELTA II發(fā)送氣體（或任何混合物）和比率設(shè)定點(diǎn)，DELTA II將自動且精確地將氣體分成兩個獨(dú)立的輸出通道。吞吐量和過程控制一直是半導(dǎo)體器件制造商的關(guān)鍵。隨著300毫米晶圓和雙工藝室的出現(xiàn)，控制氣流分布的新方法變得越來越需要。300毫米晶圓加工通常需要對整個晶圓的氣體分布進(jìn)行可調(diào)控制，以提供更好的工藝均勻性。雙工藝室需要適當(dāng)?shù)臍怏w分布，以便與單源氣體面板的室匹配。

5、美國MKS控制器產(chǎn)品技術(shù)數(shù)據(jù)
最大工作出口壓力：200托
最大允許出口壓差：50托（Q1和Q2之間）
正常工作壓差：<150托（對于10000/10000，<450托）（N2）
證明壓力：1000磅/平方英寸
爆破壓力：1500磅/平方英寸
輸入流量范圍：每個通道的5到100%滿量程額定值（N2等效）
比率控制范圍：1:1到20:1和20:1到1:1
比率精度：比率設(shè)定點(diǎn)的2%
典型精度：比率設(shè)定點(diǎn)的0.3%
比率重復(fù)性和再現(xiàn)性：通道滿量程的0.02%
零溫度系數(shù)：0.05%滿量程/°C
跨度溫度系數(shù)：0.08%讀數(shù)/°C
熱身時間：30分鐘
工作溫度：10至40°C

6、美國MKS控制器產(chǎn)品部分型號
美國MKS控制器DELTA?IV 4
美國MKS控制器DELTA?II
美國MKS控制器DLT2A2
美國MKS控制器DLT2B
美國MKS控制器DLT2A1
美國MKS控制器DLT3B

美國MKS控制器DLTNA3

Lovato    TM ST
AII  GPR12-333PPM 02 SENSOR,S/N:504342747
RELECO  QR-C C7-A20，DC110V，3.6A
STI  DT-S11F1S0
Schenck    RTN 1t C3
SOLARTRON  OD4
BD  壓力傳感器DMP331-111-2001-1-3-100-300-1-000
Dynisco  TPT4634-35MPA-6/18
Turck     BL20-E-8AI-U/I-4PT/NI/ET
SCHMALZ  電纜10.06.02.00031
Dynisco  MDT422F-1/2-50-15/110-A
Parker  電磁閥D1VW001CNJEE
BERU   點(diǎn)火電極ZE14-12   長度88.94mm
SOR   311581-ND1703
MAGTROL   稱重傳感器LB220-011/001
HYDAC   溢流閥DB12120A-01X-250V
TWK 電子式接觸器ER40-24DC-300DC-A03/24VDC
Prominent普羅名特  CNPb1000PVT200AC1D
Dynisco   傳感器TPT4636-5M-6/18-RTD1
VICKERS    DGMA-3-C1-10
SKF   軸承加熱器TWIM15/230V
MTS  RH-M-0350M-D63-1-P102
HYDAC 壓力傳感器HAD 3840-A-350-190帶插頭停產(chǎn)替代HDA4842-A-350-416
BAUMER   編碼器 ITD70A4Y7 1024IMP 8~30VDC
KROM  VK 80F10T5A6L3DVZ
Dynisco    傳感器NP-465XL-1/2  50mpa
DOLD   安全繼電器   LG5925.48 3NO+1NC
SOCOMEC  Stromwandler 200A TCB 44-50 Kl. 0,5 192T5020
HYDAC    壓力開關(guān)VD 5D.0/-W-LED 04/20 DC24V 可能是VD5D.0/-V-LED
AI-TEK  轉(zhuǎn)速傳感器70085-1010-412
IFM   接近開關(guān)IB0016  IBE2020-FBOA
HYDAC   壓力傳感器HDA4445-A-250-000
IFM   開關(guān) 6-EFECTOR; IN5207 IN-2002- FRKG; U:10… 55V DC I:400MA SCP T26; D45127
LINCOLN林肯   超聲波液位開關(guān) SONAR-SENSOR BPU1-V375-L800 200  664-34009-2
WOERNER     液位開關(guān)KFA-A/F/0/N/056C/Z3N/250
DYNISCO   壓力傳感器  2242NAOOM21CEFFBCAZZB628
TR    CXS65S-00002
LEUZE  AMS 304i 200 Part number:50113679
HYDAC   數(shù)顯溫度控制器ETS388-5-150-000
高諾斯 Crouzet   備件號： 84872057   65-260V   升級為84872.152
Weidmuller   浪涌保護(hù)器1352900000 VPU II 4 400V/40KA    升級為VPU II 4 R 400
FESTO  10P-14-8C-MP-N-Y-C3JMJJM+GQC
Bently  探頭330103-00-07-10-02-00
HIROSAWA/IKURA  THA1-7556X-TP-N/O WITH SENSOR AJC017-N.O., AC200V 50/60HZ FOR VS-520B
HS-COOLER冷卻器  KS25-BCV-421 L2400
MOELLER    輔助繼電器DILAC-40 DC220V，帶底座
ROLAND  SCI20S-GG 40米
SIEMENS西門子  CE-0085AP0001
BALLUFF巴魯夫   位移傳感器BTL7-S573-M1800-8-S32
NORGREN  減壓閥B38P 444 M1MA
耐震壓力表國產(chǎn)   壓力范圍：0～5000psi，壓力等級：1.6，壓力表接頭：1/4″ NPTM，安裝形式：軸向偏心嵌裝式，帶邊；表盤直徑：150mm，充液防震，材質(zhì)：304不銹鋼
CEAG     插頭GHG5117306R0001  220v
SUN    CBCA-LIN-EBA 30-105 BAR/503 697報價型號CBCA-LIN-EBA
BRAUN   D124,1S2U2M     NO.:1406040019
Rexroth 4WE 10 D50/OFEG24N9K4/M
schmersal     端門行程開關(guān)ZIR236-11z-M20
Kubler   編碼器  8.5020.0A40.1024.S046.EX   No.:2116704468
MTS   RHM0280MR031A01
PIZZATO    VF L56
SOLARTRON  AX 2 5S
REXROTH   位置傳感器 GIV50-11
HYDAC   VD2LZ.1/-BO
BD 壓力傳感器DMP331-110-1001-1-3-100-300-1-000
VERSA  EZM-3143-4-Z-HC-110V50-120V60
ROSEEMOUNT  3051TG3A2B21AB4E 8M5HR5,0-10.3bar
TWK  CRE58-4096G24CE01
意大利carpanelll   電機(jī)  B5  報 價型號  Drehstrommotor Typ 63L/4a
EUROTHERM   EPOWER/4PH-400A/600V/230V/×××/×××/×××/OO/Y2/
P+F   光電開關(guān)\漫射式\RLK31-8-2500-IR/31/115\PNP
IPF    傳感器OR170120   10-30VDC 200mA  Sn:4m
STAUBLI    RMI209.12.7102/JV
RELECO   繼電器C4-A40 DX/DC 24V
S+B VCS09611ERT8P2+1*OGF6B
DESTACO迪斯泰克   8MB-056-1 磁性開關(guān)支架
ASCO  SCE272A017MS  230/50
IMAV   閥RVPS-10N-C-0-50
Bauer    電機(jī)BS40-62U/D08MA4-G-S/ESX010A9
Bihl+Wiedemann    模塊BWU 2544
Honeywell RA890G1229
SAUER  DANFOSS    GRL074BLS2525NNN3 S1N2A1NAAANNNNNN
Voith   附件 Schmelzsicherungsschraube Set X1 - M18 bestehend aus: 5 Schmelzsicherungsschrauben 2  Dichtring für Füllschraube
SENSOR ENDRESS+HAUSER  FTM20-AG42A
Hanovia  130027-2001-C
DESTACO   8EA-030-1
HYDAC    溫度控制器ETS3868-5-000-000-30       150℃  DC24V
E-T-A   繼電器 ESS20-003-DC24V 10A 4個起訂
HENGSTLER   0547884
RHM1720MK021S1G6100
SUN   CWIA-LHN-QCXS
Phoenix   圓形連接器SACC-M12MSB-5CON-PG9 SH AU
SKF    PPU-5 閥
Rexroth  A4FM22/32W-NSCO2
IPF  接近開關(guān)IB120155 10-35VDC 120mA
Rexroth   換向閥4WEH10J4X/6EG24N9TS2K4
德國Krom schroder    點(diǎn)火控制器 BCU480-5/3/1LW3GBD2  已停產(chǎn)，升級型號 88610638 BCU480-5/3/1LW3GBD2
SICK  障礙物傳感器TIM320-1031000
ECKERLE    EIPH2-016RP30-1X 包括附件（6000200234）
MOOG  D661-6573C G08JOAA4VSX2HA
DESTACO迪斯泰克   8MB-055-1 開關(guān)總成(帶支架)JB報價只是磁帶KASSETTE
BERMAD  IR-3"-110-Y-P-FF-UC-9DS-PP-X
RHM1200MP101S1G8100
IPF   接近開關(guān) IB080150
MTS   EPS0270MD601AO
美國warner    制動器TB5000IM      24VDC     23w
HYDAC  EDS-346-2-250-000
日本豐興TOYOOKI    HRD3-BG3-1-04B-WYD2
CAREL  EVD0000E20控制器
 MTS P-M-0700M-D53-A-P102
Rexroth   電磁換向閥4WE6YX6X/EW220N9K4
Bently   瓦振傳感器9200-01-05-10-00
VERSA  EZM-3143-4-Z-HC-A120 A120 = 120V60Hz
ECKERLE愛珂勒   齒輪油泵  890-E1-0800-RS2-C503