美國MOTT GasShield® 墊片過濾器 GSG-V4-1-N
編號:2324100
規(guī)格
工作條件
? 惰性氣體的高工作溫度:450°C
? 最大壓差:1000 psid 正向或反向 (68.9 barg)
材料
? 硬件:316LSS 或鎳
? 過濾介質(zhì):316L 不銹鋼或鎳
? 哈氏合金或定制材料
規(guī)格
顆粒去除粒徑: ≥ 0.003 微米
氦氣泄漏等級: 1 x 10-9 大氣壓 cc/秒
水分貢獻: 根據(jù) SEMI F27 測試方法,在低流量環(huán)境吹掃下 1 小時后 <10 ppb
總碳氫化合物: 低于 SEMASPEC 90120396B 測試方法的可檢測限值
顆粒脫落: 根據(jù) SEMI F43-0308 測試方法,高于本底的零顆粒貢獻(<1 顆粒/立方英尺)
配件和尺寸
典型安裝
零件描述 流量等級 (SLPM) 過濾材料 面密封墊片尺寸(英寸) 元件長度(英寸) 更換間隔
GSG-V4-1-N 系列 1 鎳 ? 1 系統(tǒng)相關(guān)
GSG-V4-3-N 系列 3 鎳 ? 3 系統(tǒng)相關(guān)
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33 20 鎳 ? 1 系統(tǒng)相關(guān)
GSG-V5-1-2N 系列 50 鎳 ? 1 系統(tǒng)相關(guān)
GSG-V4-1-S 系列 1 316L 不銹鋼 ? 1 系統(tǒng)相關(guān)
GSG-V4-3-S 系列 3 316L 不銹鋼 ? 3 系統(tǒng)相關(guān)
GSG-V4-1-2S型 20 316L 不銹鋼 ? 1 系統(tǒng)相關(guān)
GSG-V5-1-2S 系列 50 316L 不銹鋼 ? 1 系統(tǒng)相關(guān)
*提供定制設(shè)計和配件。